• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2003 年度 実績報告書

メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 15560101
研究機関芝浦工業大学

研究代表者

柴田 順二  芝浦工業大学, 工学マネジメント研究科, 教授 (30052822)

研究分担者 植木 忠博  芝浦工業大学, 工学部, 講師 (50052890)
大田 正人  芝浦工業大学, 工学部, 助教授 (50052874)
キーワードCPM / 研磨 / スラリー / ゾル-ゲル法 / シリカ / パッド / メタル / ウエハー
研究概要

本年度はゾルゲル法によりシリカSiO_2研磨材すらリーを試作し,その研磨特性を実験的に検討した。そして,この結果より、シリカによるCMPメカニズムの化学的(C),機械的(M)研磨(P)作用を定量的に分析し,その研磨メカニズムモデルを構築した.これにより,メタルCMP用スラリー開発の方針を得ることができた.本年殿成果を要約すると以下のとおりである.CMP研磨機構をできるだけ単純化させることを目的とし,素性の明らかなスラリーを試作し,市販のスラリー(種々の不明な添加物を含む)と対比させながら,系統的なCMP実験を行った.すなわち;(1)CMPにおけるpHの効果・・・化学的作用の検討
(2)砥粒径,濃度,個数密度の効果・・・機械的作用の検討
(3)添加剤の効果…物理,化学的効果の検討
以上,主として3つの視点からCMPのメカニズムを追究した.本実験から次の所見を得た.
(1)添加剤は研磨作用そのものに直接関わっておらず,2次凝集の防止や研磨後の後処理を行うための補助的なものである.
(2)表面へのシリカの堆積は,砥粒がワーク表面に2次凝集した結果である.
(3)砥粒粒径が大きくなるほど,研磨量は増大する.
(4)パッドと加工面の接点(研磨作用点)数が増大するほど,研磨量が増加する.
(5)CMP作用は,砥粒-砥粒間の結合力,砥粒-工作物材質間の結合力,砥粒-パッド材質間の結合力,この3者の強度関係で決定する.

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] Junji SHIBATA, M.OTA, A.ODA: "A basic study on CMP mechanism and a trial to produce CMP slurry by sol-gel method"7^<th> International Symposium on Abrasives in Abrasive Technology. ISAAT 2004-XX(予定). (2004)

URL: 

公開日: 2005-04-18   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi