| 研究概要 |
本年度の研究実績の概要は次の通りである.
(1)スピンドルに供給する水の圧力脈動の影響:水の脈動吸収装置を実験装置に設置し,スピンドルに供給する水の脈動の低減を図った.この脈動吸収装置の有無による,脈動の変化を周波数解析により調べた.その結果,水の供給装置に使用している容積式ポンプが吐出する脈動の基本周波数は,220Hzであり,試作した脈動吸収装置によって,この成分の著しい低減が図れることを確認した.今後,水の脈動がスピンドルの回転精度に及ぼす影響を評価する.
(2)スピンドルの改良:スピンドルの性能向上を図るために,新たにスピンドルを試作した.今回,特に回転軸とケーシング間の隙間を狭くし,剛性の向上を図った.さらに,静圧軸受に用いる流体絞りの基本性能試験を行い,これまでの設計で用いていた設計式の修正を行い,これに基づいて絞りの製作を行った.
(3)スピンドルに組み込む静圧軸受設計用ソフトウエアの開発:代表的な寸法と形状の静圧軸受を設計するためのソフトウエアを開発した.
(4)小型超精密加工システムの試作:開発中のスピンドルを中核要素とする小型超精密加工システムを試作するために,小型加工ステージを試作し,購入した除振台上に設置した.
(5)スピンドルの回転数制御:スピンドルの回転数を制御するために,ロータリー型流量制御弁を製作し,新たに試作した小型スピンドルを用いて,回転数制御実験を行った.ステップ応答実験を実施した結果,製作したロータリー型流量制御弁によって,スピンドルの回転数制御が行えることを確認した.
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