| 研究分担者 |
豊田 實 神奈川歯科大学, 歯学部, 教授 (30130925)
木本 克彦 神奈川歯科大学, 歯学部, 講師 (70205011)
園田 勉 産業技術総合研究所, サステナブルマテリアル研究部門, 研究員 (80357334)
星 憲幸 神奈川歯科大学, 歯学部, 助手 (20339782)
渡津 章 産業技術総合研究所, サステナブルマテリアル研究部門, 研究員 (90358375)
|
|---|
| 研究概要 |
本実験のTi金属とβ-TCPは組成が金属と非金属であるためMixture Sputteringを行うにあたり,個々に独立したRF電源の調整によりコーティング膜の組成のコントロールが可能となった.また,基盤加熱が800℃まで可能となるためコーティング膜の成膜組成をアニーリングによりCa-Pの再結晶化させることも可能となる.
今回は,β-TCPターゲットがスパッタリングにより成膜されたコーティング膜の組成性状について分析検討を行った.
コーティングされたCa/P層は母材表面に対して均質にコーティングされていることが確認され,Ca, P元素が均一に混在していた.Ca-P薄膜は透過性が高いことからOが一定量薄膜中に存在し,Cは深さ方向の分析から表層だけに存在することから,コンタミネーションの少ないCa-P膜が出来た.
定性分析の結果
試料からは,O, Ca, C, Pの元素が検出された.それぞれの詳細を検討するためnarrowスペクトルにより試料表面から深さ方向への分析を行い,各元素の定量をAtomic Concentrationにより行った各元素はO:62.45〜65.49%,Ca:23.51〜26.23%,C:0.96〜3.08%,P:8.19〜10.57%の割合であった.それぞれの元素波長はO1s, Ca2P, C1s, P2pSi2pでnarrowスペクトルに重ね表示されている
それぞれのエネルギーピークはO1sで530eV, Ca2Pは347eVと351eVに2つのピークが現れ,C1sは表層の285eV付近にあらわれた.P2pのピークは132eV付近にピークがあらわれていることがわかった。
|
