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2003 年度 実績報告書

微重力反応性プラズマ中の微粒子成長

研究課題

研究課題/領域番号 15654082
研究機関九州大学

研究代表者

渡辺 征夫  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 教授 (80037902)

研究分担者 古閑 一憲  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助手 (90315127)
白谷 正治  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助教授 (90206293)
キーワード微重力 / プラズマプロセス / 結晶シリコンナノ微粒子 / スパッタリング / ナノ構造制御 / 収率 / 自己組織化
研究概要

本研究は,中性ナノ粒子の存在位置・滞在時間が拡散のみで決定される「微重力反応性プラズマ」中でのナノ粒子の発生・成長機構を,特にナノ粒子の構造形成過程に焦点を絞り,実験的に明らかにすることを目的としている.スパッタリングを用いたSiナノ粒子作製装置を用いて,本年度に得られた成果は,以下のとおりである.
1.通常重力下では,安定な結晶またはアモルファス構造のSiナノ粒子が形成されるのに対して,微重力環境下では準安定構造のSiナノ粒子が形成される.後者は,200keVの電子線照射により構造が変化する.
2.通常重力下に比べて微重力環境下では,ナノ粒子の生成効率が3桁程度も高くなる.
3.微粒子の平均サイズ,サイズ分布は通常重力下,微重力環境下で差がない.
4.プラズマ発光の空間分布,スペクトル,電子温度,イオン密度は通常重力下,微重力環境下で差がない.
来年度は,上述の差が得られた原因について検討を行い,ナノ粒子の構造形成過程を明らかにしていく予定である.

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] M.Shiratani, T.Kakeya, K, Koga, Y.Watanabe: "Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions"Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision. 38 (2004)

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公開日: 2005-04-18   更新日: 2016-04-21  

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