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2004 年度 実績報告書

微重力反応性プラズマ中の微粒子成長

研究課題

研究課題/領域番号 15654082
研究機関九州大学

研究代表者

渡辺 征夫  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 教授 (80037902)

研究分担者 白谷 正治  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助教授 (90206293)
古閑 一憲  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助手 (90315127)
キーワード微重力 / プラズマプロセス / 結晶シリコンナノ微粒子 / プラズマスパッタリング / ナノ構造制御 / カーボン微粒子
研究概要

本研究は,中性ナノ粒子の存在位置・滞在時間が拡散でのみ決定される「微重力反応性プラズマ」中でのナノ粒子の発生・成長機構を,特にナノ粒子の構造形成過程に焦点を絞り,実験的に明らかにすることを目的としている.
今年度は,結晶シリコンナノ粒子の付着確率と輸送効率について明らかにするため,一次元ガス流において結晶シリコンナノ粒子作製を行った.気相中で発生した微粒子を捕集して透過型電子顕微鏡で観察した結果,サイズが2nm以上の単結晶シリコンナノ粒子の付着確率はほぼ100%であることが明らかになった.また,輸送効率は,ガス流速とナノ粒子の拡散速度に支配されており,重力はほとんど影響を及ぼさないことが明らかになった.
また,他の材料への展開を目的として,カーボン微粒子の発生・成長機構について明らかにするため,重力下におけるカーボン壁と水素プラズマ相互作用による微粒子発生についても実験を行った.その結果,ナノメートルサイズのカーボン微粒子が大量に生成していること,カーボン壁の構造の違いにより生成量が変化することを明らかにした.
ナノ粒子の付着確率及び輸送効率を明らかにすることは,ナノ微粒子を構造材としたナノ構造形成という,新しいプラズマプロセスへの展開への足がかりになると考えられる.

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2005 2004

すべて 雑誌論文 (3件)

  • [雑誌論文] Nano-particle formation due to interaction between H_2 plasma and carbon wall2005

    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Yasuhiro Kitamura, Masaharu SHiratani, Yukio Watanabe, Akio Komori
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

  • [雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges2005

    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in oress)

  • [雑誌論文] Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions2004

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, T.Kakeya, K.Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision

      ページ: P-38

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公開日: 2006-07-12   更新日: 2016-04-21  

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