研究課題
発光波長を従来の325nm帯から280nm帯へAlの高組成化による、短波長化をはかりつつ、高発光効率ならびに高出力化を目標に結晶の高品質化ならびに量子井戸層の構造の最適化について研究を進めた。サファイヤ基板上へのAlNの形成においては、2次元島形成とその横方向成長を繰り返しながら結晶成長させる新しい技術を開発することで、転位密度が2x10^9cm^<-2>という世界トップレベルを実現した。また、AlNバッファー層の後のAlGaNの結晶成長時に導入されるクラックの発生ならびに界面で再び発生する転位の問題に対しては、超格子の平均格子定数をその上のAlGaNよりも大きくすることで、引っぱり歪に変えることで、基板のそりならびにクラックの抑制に成功し、高品質の結晶を得ることに成功した。また、量子効率を向上させるための量子井戸の最適化をシミュレータで行い、従来の量子効率よりも3倍以上大きな量子効率を実現した。また、同時に発光波長の短波長化を行い、発光波長が308nmの新しい量子構造を有する発光ダイオードの試作に成功した。本ダイオードの高出力化のために、基板の加熱プレス機を開発し、基板全体で発光させることに成功し、高出力化が可能な見通しを得た。
すべて 2007 2006
すべて 雑誌論文 (6件) 産業財産権 (1件)
J. Crystal Growth, 298
ページ: 336
Jpn. J. Appl. Phys. 45・8A
ページ: 6103-6107
Appl. Phys. Lett. 89・25
ページ: 261114
Appl. Phys. Lett. 88・15
ページ: 152904
J. Electroceram 17
ページ: 189-195
Appl. Phys. Lett. 89
ページ: 191910
