• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2017 年度 実績報告書

超並列アナログ脳型LSIに向けたナノ構造メモリ素子とその集積回路化の研究

研究課題

研究課題/領域番号 15H01706
研究機関九州工業大学

研究代表者

森江 隆  九州工業大学, 大学院生命体工学研究科, 教授 (20294530)

研究分担者 高橋 庸夫  北海道大学, 情報科学研究科, 教授 (90374610)
寒川 誠二  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30323108)
遠藤 和彦  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ長 (60392594)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2019-03-31
キーワードソフトコンピューティング / ニューラルネットワーク / 抵抗変化型メモリ素子 / ナノ構造 / 集積回路
研究実績の概要

1.ナノ構造ReRAM 素子の構造・製造法の研究: TaOx系ReRAM素子での絶縁膜形成条件と多値・アナログ特性の実現条件および書き換え耐性の関係を評価し,安定な多値動作の実現には膜厚とスパッタリング時の酸素分圧の特定な組み合わせが必要であることがわかった.また,昨年度考案した複数接続FET-ReRAM素子によるアナログ抵抗制御について,ReRAM素子と高抵抗素子を複数接続する構造に置き換える検討において,高抵抗素子をa-Siで構成可能なこと等を確認し,ナノ構造化製造技術の開発を進めた.
2.ナノ構造メモリ素子とMOS 回路との結合設計・試作・評価:アナログメモリ素子の利用を前提とした時間領域アナログ方式ニューラルネットワーク回路モデルおよびアーキテクチャを引き続き検討し,メモリ素子をMOSFETで模擬した評価用回路および2値を記憶する積和演算回路をTSMC0.25um技術を用いて設計し,試作チップ測定により300~500TOPS/Wの演算エネルギー効率を得た.これは1桁微細な製造技術を用いる既存ディジタルCMOS方式に比べても1桁以上高効率であり,同程度の微細化技術を用いれば,提案方式により2~3桁高い電力効率を実現できることを明らかにした.
3.脳型時間軸情報処理モデルへの適用:素子でのゆらぎを確率的モデルに適用する検討と併せて,非線形回路動作上のカオス現象を利用するカオスボルツマンマシンの評価を引き続き行った.ディジタル(FPGA)実装では200ニューロン以上の全結合構造を実現し,Nクイーン問題などの最適化問題の解を見いだせることを確認した.アナログ方式による専用チップでの実装では,14ニューロン全結合ネットワーク回路においてアニーリングによるエネルギー減少を確認するとともに,ディジタル方式に比べて高いエネルギー効率が得られることを明らかにした.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

アナログメモリ素子の利用を前提とした時間領域アナログ方式ニューラルネットワーク回路モデルおよびアーキテクチャの開発を進め,試作CMOSチップ測定により既存ディジタルCMOS方式に比べて2~3桁高い電力効率を実現できることを実証した.この方式は平成28年度に国内出願を行い,平成29年度にJSTの補助を得て外国出願(PCT,台湾)を行い,台湾特許は成立した.また,ReRAM素子開発も着実に進めている.

今後の研究の推進方策

ナノメータサイズの抵抗変化型メモリ素子集合体の製造技術開発を引き続き進めるとともに,最終年度においてはReRAM素子以外のアナログメモリ素子についても実現可能性検討を進める.確率的動作の実現手段も,素子でのゆらぎ利用だけでなく,回路動作での実現手法を含めて広く検討を進めて,最終的なプロトタイプシステム試作を実現する.

  • 研究成果

    (59件)

すべて 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (18件) (うち国際共著 3件、 査読あり 15件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (37件) (うち国際学会 13件、 招待講演 14件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件) (うち外国 2件)

  • [国際共同研究] Technical University of Catalunya(スペイン)

    • 国名
      スペイン
    • 外国機関名
      Technical University of Catalunya
  • [雑誌論文] 脳型アナログ演算と専用集積回路2018

    • 著者名/発表者名
      森江 隆
    • 雑誌名

      人工知能

      巻: 33 ページ: 39-44

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Shared Synapse Architecture for Efficient FPGA Implementation of Autoencoders2018

    • 著者名/発表者名
      Suzuki, T. Morie, and H. Tamukoh
    • 雑誌名

      PLoA ONE

      巻: 13 ページ: e0194049

    • DOI

      10.1371/journal.pone.0194049

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] EELS Analysis on Oxygen Scavenging Effect in a Resistive Switching Structure of Pt/Ta/SrTiO3/Pt2018

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Ryosuke Nakagawa, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: - ページ: -

    • DOI

      10.1557/adv.2018.12

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Smooth Interfacial Scavenging for Resistive Switching Oxide via the Formation of Highly Uniform Layers of Amorphous TaOx2018

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Ryosuke Nakagawa, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials and Interface

      巻: 10 ページ: 5609-5617

    • DOI

      10.1021/acsami.7b15384

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 単層Fe-MgF2グラニュラー薄膜を用いた単電子トランジスタの電気特性2018

    • 著者名/発表者名
      浅井 佑基, 本庄 周作, 瘧師 貴幸, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 電子デバイス研究会

      巻: 117 ページ: 1-6

  • [雑誌論文] A CMOS Chaotic Boltzmann Machine Circuit and Three-neuron Network Operation2017

    • 著者名/発表者名
      M. Yamaguchi, H. Tamukoh, H. Suzuki, and T. Morie
    • 雑誌名

      Proc. Int. Joint Conf. on Neural Networks (IJCNN 2017)

      巻: - ページ: 1218-1224

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analog Memory Devices and Circuits for Future Brain-like AI Processors2017

    • 著者名/発表者名
      T. Morie
    • 雑誌名

      2017 Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology (IWDTF 2017)

      巻: - ページ: 6-7

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analog Memory Operation of Parallel Connected Resistance Change Memory Devices2017

    • 著者名/発表者名
      M. Harada, H. Ando, T. Morie, A. T. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, and S. Samukawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the Seventeenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2017)

      巻: - ページ: 60-61

  • [雑誌論文] Observation of Conductive Filament in CBRAM at Switching Moment2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Muto, Ryota Yonesaka, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 80 ページ: 895-902

    • DOI

      10.1149/08004.0173ecst

    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ electron microscopy of Cu movement in MoOx/Al2O3 bilayer CBRAM during cyclic switching process2017

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke Ishikawa, Shuichiro Hirata, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Yasuo Takahashi, Masaki Kudo, and Sho Matsumura
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 80 ページ: 903-910

    • DOI

      10.1149/08010.0903ecst

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Probing Electrochemistry at Nanoscale: In Situ TEM and STM Characterizations of Conducting Filaments in Memristive Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Yuchao Yang, Yasuo Takahashi, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, M. Moors, M. Buckwell, A. Mehonic, and A. J. Kenyon
    • 雑誌名

      Journal of Electroceramics

      巻: 39 ページ: 73-93

    • DOI

      10.1007/s10832- 017-0069-y

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Associative Search Using Pseudo-Analog Memristors2017

    • 著者名/発表者名
      Mika Laiho, Mika Gronroos, Jussi H. Poikonen, Eero Lehtonen, Reon Katsumura, Atsushi T.-Fukuchi, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      IEEE International Symposium on Circuits & Systems (ISCAS-2017)

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ISCAS.2017.8050986

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Evaluation of Multilevel Memory Capability of ReRAM Using Ta2O5 Insulator and Different Electrode Materials2017

    • 著者名/発表者名
      Yuanlin Li, Reon Katsumura, Mika Kristian Gronroos, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Hideyuki Andoh, Takashi Morie, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW-2017)

      巻: - ページ: 85-86

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Realization of Analog Memory using Ta2O5 Based ReRAM for the Application of Neural Network2017

    • 著者名/発表者名
      Yuanlin Li, Reon Katsumura, Mika Kristian Gronroos, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Hideyuki Ando, Takashi Morie, Yasuo Takahashi, and Seiji Samukawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the Seventeenth International Symposium on Advanced Fuluid Information (AFI-2017)

      巻: - ページ: 50-51

  • [雑誌論文] Extremely low thermal conductivity of high density and ordered 10 nm-diameter silicon nanowires array2017

    • 著者名/発表者名
      Akiou Kikuchi, Akifumi Yao, Isamu Mori, Takahito Ono, and Seiji Samukawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 110 ページ: 091908

    • DOI

      10.1063/1.4977778

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synchronization of Pulse-Coupled Phase Oscillators over Multi-FPGA Communication Links2017

    • 著者名/発表者名
      Dinda Pramanta, Takashi Morie, and Hakaru Tamukoh
    • 雑誌名

      Journal of Robotics, Networking and Artificial Life

      巻: 4 ページ: 91-96

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] A Hardware Oriented Dropout Algorithm for Efficient FPGA Implementation2017

    • 著者名/発表者名
      Yoeng Jye Yeoh, Takashi Morie, and Hakaru Tamukoh
    • 雑誌名

      Proceedings of 24th International Conference on Neural Information Processing (ICONIP2017), Lecture Notes in Computer Science

      巻: 10638 ページ: 439-441

    • DOI

      10.1007/978-3-319-70136-3_87

    • 査読あり
  • [雑誌論文] An Implementation of a Spiking Neural Network Using Digital Spiking Silicon Neuron Model on a SIMD Processor2017

    • 著者名/発表者名
      Sansei Hori, Mireya Zapata, Jordi Madrenas, Takashi Morie, and Hakaru Tamukoh
    • 雑誌名

      26th International Conference on Artificial Neural Networks (ICANN2017), Lecture Notes in Computer Science

      巻: 10613 ページ: 437-438

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] 脳型アナログ集積回路開発の経緯と展望2018

    • 著者名/発表者名
      森江 隆
    • 学会等名
      第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] 脳型人工知能ハードウェア開発の現状と課題2018

    • 著者名/発表者名
      森江 隆
    • 学会等名
      Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2018 日本語チュートリアル
    • 招待講演
  • [学会発表] ニューロモルフィックハードウェアのためのFeFETアナログメモリ2018

    • 著者名/発表者名
      森江 隆, 原田 將敬, 高橋 光恵, 酒井 滋樹
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] 反応性スパッタ法により作製したTiOx系ReRAMの多値特性2018

    • 著者名/発表者名
      福本 泰士, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第53回応用物理学会北海道支部/第14回日本光学会北海道支部合同学術講演会
  • [学会発表] 固相エピタキシャル成長法による金属性Ca2RuO4薄膜の作製2018

    • 著者名/発表者名
      安田 将太, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第53回応用物理学会北海道支部/第14回日本光学会北海道支部合同学術講演会
  • [学会発表] 電気特性評価用TEMその場観察システムの開発と応用~MANBOU登録装置を中心として~2018

    • 著者名/発表者名
      有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第3回分析TEMユーザーミーティング
  • [学会発表] 酸素欠陥を導入したTa2O5-δ抵抗変化型メモリにおける多値動作特性の検討2018

    • 著者名/発表者名
      李 遠霖, 勝村 玲音, Mika Kristian Gr?nroos, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫, 安藤秀幸, 森江 隆
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
  • [学会発表] CBRAMの動作不安定性に関するTEMその場観察2018

    • 著者名/発表者名
      武藤 恵, 酒井 慎弥, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
  • [学会発表] 固相エピタキシャル成長法による常圧成長Ca2RuO4薄膜の伝導特性2018

    • 著者名/発表者名
      安田 将太, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
  • [学会発表] RRAM device operation investigated using in-situ TEM2017

    • 著者名/発表者名
      Masashi Arita, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, and Yasuo Takahashi
    • 学会等名
      Non-Volatile Memory Technology Symposium 2017 (NVMTS 2017)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] In-situ TEM observation of lateral CBRAM during switching operation2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Muto, Ryota Yonesaka, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 学会等名
      232th Electrochemical Society Meeting (ECS) ULSI Process Integration 10
    • 国際学会
  • [学会発表] In-situ electron microscopy of Cu movement in MoOx/Al2O3 bilayer CBRAM during cyclic switching process2017

    • 著者名/発表者名
      Ryusuke Ishikawa, Shuichiro Hirata, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Yasuo Takahashi, Masaki Kudo, and Sho Matsumura
    • 学会等名
      232th Electrochemical Society Meeting (ECS) ULSI Process Integration 10
    • 国際学会
  • [学会発表] ReRAM switching of planar Ag/WOx/Pt studied by in-situ TEM2017

    • 著者名/発表者名
      Shinya Sakai, Satoshi Muto, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, and Yasuo-Takahashi
    • 学会等名
      30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017)
    • 国際学会
  • [学会発表] Investigations on Oxygen Scavenging Effect at Metal/Oxide Interfaces for Reliable Memory Applications2017

    • 著者名/発表者名
      Ryosuke Nakagawa, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting
    • 国際学会
  • [学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      China Semiconductor Technology International Conference 2017
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2017
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Neutral Beam Technology for Nano-Materials and Nano-Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      21st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electronic states in the neutral-beam-formed Ta2O5 film measured by thermally stimulated current method2017

    • 著者名/発表者名
      Takeo Ohno, Hisashi Shima, Hiroyuki Akinaga, and Seiji Samukawa
    • 学会等名
      49th International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際学会
  • [学会発表] High Efficiency Nano Energy Devices Using Bio-template Ultimate Top-down Process2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanoenergy and Nanosystems
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Neutral Beam technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      18th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Atomic Layer Etching and Deposition Processes for Future Nano-devices2017

    • 著者名/発表者名
      Seiji Samukawa
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 脳型人工知能のためのアナログVLSIの回路とデバイス2017

    • 著者名/発表者名
      森江 隆
    • 学会等名
      日本学術振興会シリコン超集積化システム第165委員会 VLSI夏の学校関西
    • 招待講演
  • [学会発表] 脳型人工知能ハードウェアの物理モデルと実装課題2017

    • 著者名/発表者名
      森江 隆
    • 学会等名
      分子アークテクトニクス研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノスケールReRAM/CBRAMデバイスのIn-situ TEM解析2017

    • 著者名/発表者名
      高橋 庸夫, 福地 厚, 有田 正志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] CMOSカオスボルツマンマシン回路の設計と評価2017

    • 著者名/発表者名
      山口 正登志, 岩元 剛毅, 田向 権, 鈴木 秀幸, 森江 隆
    • 学会等名
      電気学会 電子・情報・システム部門大会
  • [学会発表] 時間領域積和演算回路のためのFeFETアナログ記憶特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      原田 將敬, 森江 隆, 高橋 光恵,酒井 滋樹
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
  • [学会発表] 時間領域アナログニューラル計算ハードウェアのための不揮発性アナログメモリデバイスの評価2017

    • 著者名/発表者名
      原田 將敬, 安藤 秀幸, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫, 高橋 光恵, 酒井 滋樹, 森江 隆
    • 学会等名
      第27回日本神経回路学会全国大会
  • [学会発表] 乱数生成器不要の簡略型Dropoutアルゴリズム2017

    • 著者名/発表者名
      ヨー ヨンジェ, 森江 隆, 田向 権
    • 学会等名
      第27回日本神経回路学会全国大会
  • [学会発表] 時間領域アナログ荷重加算回路法のCMOS VLSI回路を用いた評価2017

    • 著者名/発表者名
      岩元 剛毅, 王 権, 山口 正登志, 田向 権, 森江 隆
    • 学会等名
      第27回日本神経回路学会全国大会
  • [学会発表] カオスボルツマンマシンのFPGA実装2017

    • 著者名/発表者名
      川島 一郎, 山口 正登志, 鈴木 秀幸, 森江 隆, 田向 権
    • 学会等名
      第27回日本神経回路学会全国大会
  • [学会発表] カオスボルツマンマシンのアナログハードウェア実装2017

    • 著者名/発表者名
      山口 正登志, 岩元 剛毅, 鈴木 秀幸, 田向 権, 森江 隆
    • 学会等名
      第27回日本神経回路学会全国大会
  • [学会発表] In-situ TEM法によるMoOx/Al2O3抵抗変化メモリのデバイス劣化観2017

    • 著者名/発表者名
      石川 竜介, 平田 周一郎, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第73回記念学術講演会
  • [学会発表] 次世代半導体メモリ実現に向けたTEMその場観察を用いた故障メカニズム解析法の確立2017

    • 著者名/発表者名
      工藤 昌輝, 松村 晶, 宮崎 宣幸, 遠堂 敬史, 大多 亮, 有田 正志, 福地 厚, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第73回記念学術講演会
  • [学会発表] Ag/WOx/Pt平面型抵抗変化メモリのTEMその場観察2017

    • 著者名/発表者名
      酒井 慎弥, 武藤 恵, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
  • [学会発表] 金属/酸化物接合における界面金属層による酸素欠陥生成効果の評価2017

    • 著者名/発表者名
      中川 良祐, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      第78回応用物理学会 秋季学術講演会
  • [学会発表] ナノギャップ型抵抗変化メモリにおけるギャップ間金属移動の動的観察2017

    • 著者名/発表者名
      武藤 恵, 酒井 慎弥, 福地 厚, 有田 正志, 高橋 庸夫
    • 学会等名
      平成29年度 日本顕微鏡学会 北海道支部学術講演会
  • [備考] 九州工業大学 大学院生命体工学研究科 人間知能システム工学専攻 脳型集積システム研究室

    • URL

      http://www.brain.kyutech.ac.jp/~morie/

  • [産業財産権] MULTIPLIER-ACCUMULATOR2017

    • 発明者名
      森江 隆,王 権,田向 権
    • 権利者名
      九州工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2017/028247
    • 外国
  • [産業財産権] MULTIPLIER-ACCUMULATE OPERATION DEVICE2017

    • 発明者名
      森江 隆,王 権,田向 権
    • 権利者名
      九州工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      Taiwan(R.O.C.) 106127283
    • 外国

URL: 

公開日: 2018-12-17  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi