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2016 年度 実績報告書

回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15H02041
研究機関東京大学

研究代表者

三村 秀和  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (30362651)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2019-03-31
キーワードX線ミラー / 回転体ミラー / 軟X線集光 / 高次高調波 / SPring-8
研究実績の概要

本研究は、回転体ミラーを用いた次世代の軟X線集光システムの開発を目的としている。特に回転体ミラーを有効利用するため、回転体ミラーの照明光学系にリング集光ミラーを利用することを提案している。さらに、本研究では効率的に研究を推進させるため、東京大学における高次高調波施設とSPring-8の軟X線ビームラインの2か所においてミラーの評価を行う。実験頻度の高い高次高調波施設で得た基礎的な検討結果をSPring-8での集光実験に活用する。
平成28年度の目標は、高次高調波施設とSPring-8の軟X線ビームラインに前年度構築した集光システムを利用し回転体ミラーの性能を評価すること、リング集光ミラーと回転体ミラーの高精度化のための加工計測システムを構築することの二つである。
平成28年度前半において、回転体ミラー作製プロセスにおけるマンドレルの形状精度を大幅に向上させ、より高精度な回転体ミラーの作製に成功した。その結果、高次高調波施設において、平均波長15nmの高次高調波光を約300nmに集光することに成功した。また、SPring-8の集光実験においても、波長4nmの軟X線を集光サイズ約250nmに集光することに成功した。
ミラーの高精度化では、リング集光ミラーの作製を目的に、ピンホールを用いた形状修正成膜装置を開発した。本装置により、空間分解能100μm、精度1nmの形状修正が可能となった。回転体ミラーの高精度化に不可欠なマンドレルの3次元形状計測法を完成させた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

回転体ミラーの開発において、SPring-8および高次高調波の評価が始まり、両施設において従来にない300nmサイズ以下の集光サイズを確認した。また、両ミラーの加工計測プロセスが完成したため両ミラーの更なる精度向上が可能であり、集光性能の大幅な向上が期待できる。

今後の研究の推進方策

この2年の研究の成果により、高次高調波施設、SPring-8軟X線ビームラインでの集光特性の評価で、ミラーによるEUV、軟x線集光としては従来報告されていない集光サイズを共に確認し、大きな成果があった。今後は、より集光サイズの縮小を目指しミラーの高精度化を行う。
ミラーの形状精度を向上させるためには、ミラーの形状誤差を正確に知る必要がある。集光性能において集光サイズの大きさがアライメント誤差による影響も受けるため、形状誤差起因かアライメント誤差起因かを判断する必要がある。そこで、本研究では、タイコグラフィ法による集光波面計測を導入する。波面誤差を正確に測定できれば、収差理論を利用しアライメント誤差を分離でき、正確な形状評価が可能となる。

  • 研究成果

    (37件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 7件、 謝辞記載あり 11件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (25件) (うち国際学会 11件、 招待講演 4件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] A Fundamental Study of Local Electrochemical Nano-processing2017

    • 著者名/発表者名
      G.Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
    • 雑誌名

      International Journal of Electrical Machining

      巻: 22 ページ: 36-41

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第1報)-周方向修正加工システムの開発-2017

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,三村秀和
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 83(3) ページ: 245-250

    • DOI

      http://doi.org/10.2493/jjspe.83.245

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発2017

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 雑誌名

      電気加工学会誌

      巻: 51(126) ページ: 147-151

    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Development of high-order harmonic focusing system based on ellipsoidal mirror2016

    • 著者名/発表者名
      H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 87 ページ: 051803

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4950735

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 高精度回転楕円ミラーによる高強度EUV・軟X線ビーム形成2016

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 雑誌名

      光アライアンス

      巻: 27(2) ページ: 45-49

    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 高精度電鋳法の開発と軟X線集光ミラーの作製2016

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 雑誌名

      Electrochemistry

      巻: 84(9) ページ: 721-725

    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー2016

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 85(11) ページ: 957-961

    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Evaluation of figure accuracy of Wolter mirror fabricated by electroforming2016

    • 著者名/発表者名
      S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
    • 雑誌名

      Proceeding of SPIE

      巻: 9687 ページ: 968705

    • DOI

      doi:10.1117/12.2243422

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura
    • 雑誌名

      Procedia. CIRP

      巻: 42 ページ: 783-787

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.procir.2016.02.319

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors2016

    • 著者名/発表者名
      H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
    • 雑誌名

      Procedia CIRP

      巻: 42 ページ: 512-515

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.procir.2016.02.242

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Development of surface profiler for master mandrel of x-ray ellipsoidal mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Takei, H. Mimura
    • 雑誌名

      Proceeding of SPIE

      巻: 9962 ページ: 99620C

    • DOI

      doi:10.1117/12.2235314

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ナノ精度コピーによる超高精度ミラー作製2017

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 学会等名
      科学技術振興機構 新技術説明会
    • 発表場所
      JST東京本部
    • 年月日
      2017-03-16
    • 招待講演
  • [学会発表] 回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発2017

    • 著者名/発表者名
      齋藤貴宏,竹尾陽子,江川悟,三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      慶応義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] 高分解能スティッチング干渉計測における高精度つなぎ合わせ角度決定法2017

    • 著者名/発表者名
      松澤雄介、三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発2017

    • 著者名/発表者名
      本山央人、岩崎純史、佐藤堯洋、武井良憲、久米健大、江川悟、山内薫、三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] ピンホール成膜による高分解能形状修正成膜法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      西岡勇人、本山央人、三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] 銅電析による高精度電鋳法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      山口豪太,久米健大,三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      久米健大、武井良憲、三村秀和
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13 – 2017-03-15
  • [学会発表] 高精度ミラーを用いた軟X線のナノ集光2017

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 学会等名
      物性研究所短期研究会「新世代光源で切り拓く物質科学と生命科学の融合領域」
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2017-03-08
    • 招待講演
  • [学会発表] 高精度X線ミラー製造のための超精密形状計測法2017

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 学会等名
      H28年度長さクラブ講演会
    • 発表場所
      機械振興会館
    • 年月日
      2017-02-24
    • 招待講演
  • [学会発表] 回転楕円ミラーの作製のための高精度電鋳法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      山口豪太,久米健大,三村秀和
    • 学会等名
      第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      神戸芸術センター
    • 年月日
      2017-01-07 – 2017-01-09
  • [学会発表] 回転楕円ミラーによる軟X線集光2017

    • 著者名/発表者名
      三村秀和,本山央人,竹尾陽子,武井良憲, 松澤雄介, 久米健大, 仙波泰徳,岸本輝, 大橋治彦
    • 学会等名
      第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      神戸芸術センター
    • 年月日
      2017-01-07 – 2017-01-09
  • [学会発表] 高精度回転楕円ミラーによる軟X線ナノ集光2016

    • 著者名/発表者名
      三村秀和
    • 学会等名
      第76回ELIDセミナー
    • 発表場所
      理化学研究所
    • 年月日
      2016-12-22
    • 招待講演
  • [学会発表] Development of Pulse Electrodeposition for Removal of Hydrogen Bubbles Adhering to Cathode2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kume, G. Yamaguchi, and H. Mimura
    • 学会等名
      Electrochemistry 2016
    • 発表場所
      Goslar, Germany,
    • 年月日
      2016-09-26 – 2016-09-28
    • 国際学会
  • [学会発表] 常温Ni電鋳におけるパルス電析条件の検討2016

    • 著者名/発表者名
      山口豪太,久米健大,三村秀和
    • 学会等名
      2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2016-09-06 – 2016-09-08
  • [学会発表] X線集光用回転楕円ミラーマンドレル作製プロセスの開発2016

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,松澤雄介,三村秀和
    • 学会等名
      2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2016-09-06 – 2016-09-08
  • [学会発表] Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Takei, H. Mimura
    • 学会等名
      2016 Optics + Photonics
    • 発表場所
      San Diego USA
    • 年月日
      2016-08-28 – 2016-09-01
    • 国際学会
  • [学会発表] Current status of the development of two-staged focusing system for soft X-ray lasers2016

    • 著者名/発表者名
      H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, Y. Takeo, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamanouchi, and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Current status of development of ultraprecise Wolter mirror for soft X-ray microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      S. Egawa, T. Kume, Y. Takei, Y. Takeo, H. Motoyama and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Evaluation of degree of spatial coherence at a soft X-ray beamline of SPring-82016

    • 著者名/発表者名
      Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kisimoto, H. Ohashi and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Wavefront measurement using ptychographic phase retrieval for evaluating figure and alignment errors of ellipsoidal mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Takeo, T. Saito and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroforming process specialized for fabrication of x-ray ellipsoidal mirror2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kume, S. Egawa, Y. Takeo, and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror,2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Takei, T. Higashi and H. Mimura
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-05-18 – 2016-05-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Replication result of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming2016

    • 著者名/発表者名
      S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies
    • 発表場所
      Suzhou China
    • 年月日
      2016-04-27 – 2016-04-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors2016

    • 著者名/発表者名
      H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
    • 学会等名
      18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-04-19 – 2016-04-21
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura
    • 学会等名
      18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-04-19 – 2016-04-21
    • 国際学会
  • [産業財産権] 精密電鋳のための気泡除去方法2016

    • 発明者名
      久米健大、三村秀和
    • 権利者名
      久米健大、三村秀和
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2016-113951
    • 出願年月日
      2016-06-07

URL: 

公開日: 2018-01-16  

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