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様々なＸ線分析方法の性能の鍵を握る技術にＸ線集光がある。本研究では、Ｘ線の中でも波長1nm～10nmの軟X線領域を対象としたミラーによる集光技術の開発を目的としている。本研究では、回転体ミラーの形状精度を向上させるとともに、回転体ミラーを有効に活用することができるリング集光ミラーと回転体ミラーによる2段集光システムを提案した。
コンパクトな高次高調波軟Ｘ線光源を利用し、回転体ミラーの軟Ｘ線集光に関する基礎的な知見を蓄え、SPring-8において回転体ミラーを用いた軟Ｘ線集光システムを構築した。2段集光システムを完成させサイズ200nm以下の軟Ｘ線集光を確認した。
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