光電子アシスト有機薄膜CVD法と超薄膜DLC複合潤滑膜の開発

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15H02216
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 関西大学
• 研究代表者: 谷 弘詞 関西大学, システム理工学部, 教授 (40512702)
• 研究分担者: 多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: トライボロジー / CVD / DLC / 磁気ディスク / 光電子

研究成果の概要

本研究では，バイアス電圧を印加したDLC表面から放出される光電子を有機ガス分子が捕獲し，その分子が部分的に分解されDLC表面に化学吸着する現象を利用して，超薄膜の耐摩耗性に優れたDLC複合潤滑膜を形成することを目的とする．具体的にはハードディスク装置の高記録密度化を対象として，(1)大気圧光電子アシストUV照射による複合潤滑膜開発，(2)光電子アシスト有機薄膜CVD法の開発，(3)超薄膜DLC複合潤滑膜の開発，(4)DLC膜と潤滑剤・添加剤のトライボ電子に起因するトライボ化学反応の解明を行った．

自由記述の分野

トライボロジー