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2017 年度 研究成果報告書

バイポーラデバイス動作環境における炭化シリコン中の転位のすべり運動と電子状態

研究課題

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研究課題/領域番号 15H03535
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 ナノ材料工学
研究機関東北大学

研究代表者

大野 裕  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (80243129)

研究協力者 前田 康二  東京大学, 名誉教授 (10107443)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワード炭化シリコン / 電子励起 / 転位すべり
研究成果の概要

4H-SiC結晶中の30度-Si部分転位の電子励起転位すべり効果を理解するため、透過電子顕微鏡(TEM)内でのサブギャップ光照射により電子励起環境を形成し、光誘起されたすべり運動をその場TEM観察した。高品質結晶に意図的に導入したフレッシュな転位で、2.71eVと3.06eVのレーザー光照射によるすべり運動を確認した。運動の起源は深さ0.55eV以下に存在する転位の局在電子準位の光イオン化と結論づけた。運動を支配するのは転位上でのキンクのドリフト運動、運動の駆動力は転位が取り囲む積層欠陥のエネルギーと転位にかかる線張力と仮定し、キンク移動のための活性化エネルギーを0.6eV以下と見積もった。

自由記述の分野

ナノ構造物性

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公開日: 2019-03-29  

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