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2017 年度 研究成果報告書

NEMS可変プラズモニックデバイスによる多機能光集積デバイスの創製

研究課題

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研究課題/領域番号 15H03546
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関香川大学

研究代表者

山口 堅三  香川大学, 工学部, 助教 (00501826)

研究分担者 藤井 正光  鳥羽商船高等専門学校, その他部局等, 准教授 (00413790)
鈴木 孝明  群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (10378797)
山本 和広  九州大学, 先導物質化学研究所, 助教 (40455449)
連携研究者 石井 智  物質・材料研究機構, 主任研究員 (80704725)
研究協力者 Jeremy J. Baumberg  ケンブリッジ大学, キャベンディッシュ研究所, 教授
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードメカニカルプラズモニクス / 表面プラズモン / 微小電気機械システム(NEMS/MEMS) / 単結晶金属薄膜 / 表面増強ラマン散乱 / 金属薄膜レンズ / 光ファイバ / スティッキング
研究成果の概要

本研究は、NEMS可変プラズモニックデバイスによる多機能光集積デバイスの創製を目的に、(1)基盤技術を向上する単結晶金属の成膜法を確立し、デバイス展開への実施例の取得および(2)MEMS加工プロセスの導入に成功、(3)可変型SERSセンサや(4)可変型ナノレンズ、(5)ファイバ一体化システムをそれぞれ開発した。ここで、基盤技術とは、先の成果に基づき、微小機械電気機械システム(以下、NEMS)である静電アクチュエータと、金属格子における表面プラズモン(以下、SP)を組み合わせ、電気信号でSPの共鳴波長を可変することである。

自由記述の分野

プラズモニクス

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公開日: 2019-03-29  

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