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2017 年度 研究成果報告書

二次元原子薄膜の材料物性とデバイス特性を繋ぐオペランド顕微光電子分光

研究課題

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研究課題/領域番号 15H03560
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関東北大学

研究代表者

吹留 博一  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (10342841)

研究分担者 末光 眞希  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (00134057)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードオペランド / X線 / グラフェン / 二次元原子薄膜 / トポロジカル絶縁体
研究成果の概要

材料物性とデバイス特性のギャップがグラフェンをはじめとする2D原子薄膜デバイスの高性能化を阻んでいる。このギャップを解消すべく、研究代表者らは、デバイスの表面・界面電子状態の微視的観察を可能とするオペランド顕微X線の分光の開拓およびそれを用いた学理に基づくデバイスの研究開発を行った。その結果、電圧印加下でのデバイスの電子状態を高空間分解能(70 nm)でX線を用いて観察する手法を確立することが出来た。このオペランド顕微X線分光を用いて、新規なグラフェン・トランジスタの開発、二硫化モリブデントランジスタの微視的な電子状態観察、さらには、トポロジカル絶縁体デバイスへ研究を展開した。

自由記述の分野

表面科学、半導体工学、結晶工学

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公開日: 2019-03-29  

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