| 研究課題/領域番号 |
15H03593
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| 研究機関 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 |
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研究代表者 |
曽山 和彦 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 J－PARCセンター, 研究職 (90343912)
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| 研究分担者 |
林田 洋寿 一般財団法人総合科学研究機構(総合科学研究センター(総合科学研究室)及び中性子科学センター(研究開発, 中性子科学センター, 副主任研究員 (50444477)
山村 和也 大阪大学, 工学研究科, 教授 (60240074)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | 中性子顕微鏡 / ウォルターミラー / 磁気イメージング |
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| 研究実績の概要 |
1. 数値制御プラズマCVM加工による中性子顕微鏡用高精度Wolterミラーマンドレルの作製
中性子ミラーのマンドレル作製に、PCVMを適用するプロセスの開発を実施した。プラズマ加工時の表面温度の上昇傾向を把握するために、円柱試料にPCVM加工を行った。単位加工溝形状の取得後、1軸走査加工を行いNC-PCVMに適用可能か評価した。またNC-PCVM加工によって楕円筒形状を作製した。加工速度の補正後、加工量誤差は6.1％となり、形状誤差は0.23μm p-vでサブミクロンオーダの形状精度を達成した。これら開発したプロセスをWolterミラーのマンドレルに適用し要求精度を満足することに成功した。
２．石英マンドレルによるレプリカWolterスーパーミラーの作製
石英ガラス製の回転楕円筒にm=2（積層数140層）のスーパーミラーを成膜し、その上からニッケル金属を電鋳法により形成したあと離形して、Wolterスーパーミラーを製作する手法の最適化を行った。スーパーミラー成膜時の膜付着力、ニッケル金属膜の電鋳の際の膜応力の制御により、面形状精度の高いレプリカミラーの製作に成功した。これを基にWolterミラーの石英マンドレルにスーパーミラーを成膜したレプリカスーパーミラーの製作に成功した。
３．中性子ズーミング管を用いた高分解能中性子イメージング実験
中性子ズーミング管を用いた高分解能中性子イメージング実験を、J-PARC物質・生命科学実験施設（MLF）の特性試験装置NOBORU（BL10)で実施した。中性子ズーミング2次元検出器用に使用するCsI光電変換面とコンバータを組み合わせた変換素子を製作し、それらの膜厚等を制御することで中性子顕微鏡の検出効率、空間分解能の最適化を行うことを目的とした。空間分解能の測定を実施しエッジ測定を用いて約20μｍを達成した。
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| 現在までの達成度 (段落) |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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