| 研究課題/領域番号 |
15H03906
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人理化学研究所 |
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研究代表者 |
片平 和俊 国立研究開発法人理化学研究所, 大森素形材工学研究室, 専任研究員 (70332252)
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| 研究分担者 |
小茂鳥 潤 慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 教授 (30225586)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | 微細ダイヤモンド工具 / 大気圧プラズマ / 高純度SiC / 表面改質 / クーラント |
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| 研究成果の概要 |
大気圧プラズマジェットを加工点に対し照射することで，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能最大化を狙った．高純度SiCに対し，プラズマ援用クーラントを用いてダイヤモンド微細ミーリング加工を行った結果，平均表面粗さで1 nm以下という極めて高品位な表面が得られた．プラズマジェットを援用することで，付着物の抑止に甚大な効果があるため，工具寿命改善・加工能率の向上が見込まれる．
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| 自由記述の分野 |
超精密切削・研削，表面改質，レーザ加工
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