| 研究課題/領域番号 |
15H03978
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 長崎大学 |
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研究代表者 |
中野 正基 長崎大学, 工学研究科, 教授 (20274623)
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| 研究分担者 |
福永 博俊 長崎大学, 工学研究科, 教授 (10136533)
板倉 賢 九州大学, 総合理工学研究院, 准教授 (20203078)
柳井 武志 長崎大学, 工学研究科, 准教授 (30404239)
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| 連携研究者 |
進士 忠彦 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (60272720)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | 厚膜磁石 / 希土類磁石 / PLD法 / MEMS / 微細加工 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，研究代表者らが開発した膜堆積技術である「高速PLD(Pulsed Laser Deposition)法」を用い，厚膜磁石のMEMS応用の実現に向けて，（1）Si（シリコン）基板やガラス基板上での優れた磁気特性の希土類系磁石の開発と，（2）その試料に対する微細加工技術の確立を確立した。具体的には，①組織制御や下地層利用による磁気特性の向上，②上記(1)の試料に対する微細加工などを通じて， MEMSデバイスの開発に向けて必要となる基礎技術を確立させた。
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| 自由記述の分野 |
磁性材料
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