| 研究課題/領域番号 |
15H03984
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
年吉 洋 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (50282603)
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| 研究協力者 |
韓 正利 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 基礎科学特別研究員 (20752702)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | MEMS / THz / マイクロマシン / テラヘルツ光 / メタマテリアル |
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| 研究成果の概要 |
本研究ではＭＥＭＳ静電駆動機構を用いてＴＨｚ光に対する可変バンドパス特性を有する独自のクロススロット形状の透過型フィルタを考案し、電磁界解析によってその可変特性を解析するとともに、実際に金属／絶縁体薄膜の表面マイクロマシニング技術によりデバイスを試作し、その光学特性が解析予想通りに機能することを検証したものであり、これにより将来のＴＨｚ光用デジタル可変光学素子の基礎を確立した。
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| 自由記述の分野 |
MEMS
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