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2017 年度 研究成果報告書

シリコンカーバイドフォトニック結晶の高度化

研究課題

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研究課題/領域番号 15H03993
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関京都大学

研究代表者

浅野 卓  京都大学, 工学研究科, 准教授 (30332729)

研究協力者 宋 奉植  成均館大学, 電子電機工学部, 教授
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードシリコンカーバイド / フォトニック結晶 / ナノ光デバイス / 光共振器 / 光非線形効果
研究成果の概要

本研究では2光子吸収の抑制や広帯域動作においてSiフォトニック結晶を大きく超える性能が期待されるSiCフォトニック結晶の低損失化に取り組んだ。ベースとなるSiC薄膜自体がその作製工程に由来した線形光吸収を持つことを明らかにし、これを回避する作製手法を考案した。これにより、SiCフォトニック結晶共振器のQ値として最大で30万を実現し、共振器の光損失を本研究開始前の1/30倍に低減させることに成功した。さらにこのような高Q値共振器を用いた2光子吸収のない高効率な非線形効果の発現に取り組み、最も基本的な光非線形効果である二次高調波発生において1400%/Wという高い効率を観測した。

自由記述の分野

光ナノデバイス

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公開日: 2019-03-29  

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