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2017 年度 研究成果報告書

次世代微細PCRAMに向けた相変化材料/電極間の接触界面抵抗に関する研究

研究課題

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研究課題/領域番号 15H04113
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 金属物性・材料
研究機関東北大学

研究代表者

須藤 祐司  東北大学, 工学研究科, 准教授 (80375196)

連携研究者 小池 淳一  東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (10261588)
安藤 大輔  東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (50615820)
小林 啓介  高知工科大学, 総合研究所, 客員教授 (50372149)
齊藤 雄太  高知工科大学, 総合研究所, 客員教授 (50372149)
研究協力者 SONG Yun-Heub  
進藤 怜史  
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワード相変化メモリ / 不揮発性メモリ / アモルファス / 結晶 / 接触抵抗
研究成果の概要

相変化メモリの大容量化には相変化材料(PCM)/電極構造の微細化がカギとなるが、微細メモリセル抵抗はPCM/電極間の接触抵抗に支配される。本研究では、PCMの接触抵抗率を評価すると共に、次世代メモリの創成を試みた。その結果、アモルファスCu2GeTe3/電極はショットキー伝導を示し界面伝導に支配される事が分かった。また、耐熱性に優れる新PCMとしてCr2Ge2Te6を見出した。Cr2Ge2Te6は通常とは逆に、結晶抵抗率がアモルファス抵抗率よりも高い。更に、その抵抗率差は一桁であるが、接触抵抗率差は二桁を示すためメモリへの適用が可能であり、また、動作エネルギーを大幅に低減できる事が分かった。

自由記述の分野

材料工学

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公開日: 2019-03-29  

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