| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
これまでに、レーザープロセッシングによる銅ナノ粒子を用いた導電性微細パターン形成プロセスを確立できており、また、それらを用いたセンサーデバイスに関する検討を行えている。銅ナノ粒子のレーザーシンタリングにおいては、レーザー照射条件により、化学構造、モルフォロジー、電気特性が顕著に変化し、それらを、顕微ラマン分光法、電子顕微鏡観察、導電性測定から明らかにできている。また、それらの研究を効果的に行うために、レーザー光波長（405, 445, 532, 808, 1064 nm）の影響を検討できる実験系を確立できている。また、ガルバノミラースキャン部と自動ステージスキャン部とからなるレーザー描画装置によって，より高速な銅ナノ粒子のレーザー焼成および微細パターン形成が可能となっている。さらに、３D構造体への電気配線パターン形成を目指した検討も開始しており、5軸モーションコントローラーで制御されたXYZステージ、基板への金属ナノ粒子インク滴下のためのマイクロチューブポンプ、スピンコーターのステッピングモーター、および405 nmブルーバイオレッドレーザーから成る装置や、ガルバノスキャナーによる高速な３Dレーザー光スキャン系の検討に着手している。
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