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2019 年度 実績報告書

銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画による微細配線形成およびレーザー焼成機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 15H04132
研究機関東北大学

研究代表者

渡辺 明  東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (40182901)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2020-03-31
キーワードレーザープロセッシング
研究実績の概要

本研究では,銅ナノ粒子を用いたレーザープロセッシングによって,フレキシブル透明ポリマー基板上へも高導電性微細パターンを自在に形成することが可能な手法を開拓することを目的とした。本年度は,酸化銅ナノロッドを前駆体として用いることによって,導電性微細パターン形成とセンサーデバイス応用に関する検討を行った。酸化グラフェン等のナノカーボン材料は,銅系微粒子の表面酸化構造の有効な還元剤として働くことから,酸化銅ナノロッド/酸化グラフェンハイブリッド膜へレーザー直接描画法を適用し,ポリエチレンテレフタレート(PET)等の透明フレキシブルポリマーフィルム上に,導電性微細パターンを形成した。それら導電性パターンによって,フレキシブルアンテナ型センサーを形成し,湿度センサーや誘電率の違いに感応する化学センサーとしての特性を,ベクトルネットワークアナライザー(VNA)を用いたリターンロススペクトルにおける共振周波数のシフトや信号強度の変化から検討した。酸化銅ナノロッド/酸化グラフェンハイブリッド前駆体膜からレーザー直接描画法で形成した銅/還元型酸化グラフェンハイブリッドによるアンテナは,3から6GHzのSHF(Super High Frequency)帯に特徴的な共振周波数を示した。VNAによるリターンロススペクトルの測定から種々溶媒への感応性を検討したところ,誘電率の低いトルエンでは,溶媒滴下前後でのリターンロスの変化が見られなかったのに対して,誘電率の高い溶媒(H2O, MeOH, EtOH)では,リターンロスの顕著な増加と共振周波数の低周波数側へのシフトが観測された。また,リターンロスおよび共振周波数シフトと溶媒の誘電率との良い相関が観測された。誘電率の高い水への感応性を利用して,アンテナ型の湿度センサーの作製と特性に関する検討を行った。

現在までの達成度 (段落)

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (22件)

すべて 2020 2019

すべて 雑誌論文 (10件) (うち国際共著 10件、 査読あり 9件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] General Strategy for Preparation of Porous Nickel Phosphide Nanosheets on Arbitrary Substrates toward Efficient Hydrogen Generation2020

    • 著者名/発表者名
      Hu, C., Cai,J., Liu, S., Lv, C., Luo, J., Duan, M., Chen, C., Shi, Y., Song, J., Zhang, Z., Watanabe, A., Aoyagi, A., Ito, S.
    • 雑誌名

      ACS Appl. Energy Mater.

      巻: 3 ページ: 1036-1045

    • DOI

      doi.org/10.1021/acsaem.9b02067

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Oxygen Vacancies-Rich Amorphous Porous NiFe(OH)x Derived from Ni(OH)x/Prussian Blue as Highly Efficient Oxygen Evolution Electrocatalysts2020

    • 著者名/発表者名
      Wang,S., Xingbo Ge,X., Lv, C.,Hu,C.,Hongtai Guan, H., Wu, J., Wang, Z., Yang, X., Shi, Y., Song, J., Zhang, Z., Watanabe, A., Cai, J.
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: - ページ: -

    • DOI

      DOI: 10.1039/d0nr00607f

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Formation of graphene hybrid structures by laser direct writing and sensor applications2020

    • 著者名/発表者名
      Watanabe, A., Rahman, A., Cai, J., Aminuzzaman, M.
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 11268, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XIV

      巻: 1126817 ページ: 1126817:1-11

    • DOI

      doi: 10.1117/12.2543768

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Laser Direct Writing of Microstructure on Graphene Oxide/Metal Oxide Hybrid Film2019

    • 著者名/発表者名
      Watanabe, A. Aminuzzaman, M., Ca, J., Md. Akhtaruzzaman, M., Ogawa, S., Aoyagi, E., Ito, Sun
    • 雑誌名

      J. Photopolym. Sci. Technol.

      巻: 32 ページ: 223-226

    • DOI

      doi.org/10.2494/photopolymer.32.223

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Laser Direct Writing of Heteroatom-Doped Porous Carbon for High-Performance Micro-Supercapacitors2019

    • 著者名/発表者名
      Cai, J., LV, C., Hu, C., Luo, J., Liu,S., Song,J., Shi, Y., Chen, C., Zhang,Z., Sayaka Ogawa, S., Aoyagi, E., Watanabe, A.
    • 雑誌名

      Energy Storage Materials

      巻: 25 ページ: 404-415

    • DOI

      doi.org/10.1016/j.ensm.2019.10.001

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Value-adding to dragon fruit (Hylocereuspolyrhizus) peel biowaste: green synthesis of ZnO nanoparticles and their characterization. Inorganic and Nano-Metal Chemistry2019

    • 著者名/発表者名
      Aminuzzaman, M., Ng, P. S., Goh,W.-S., Ogawa S., Watanabe A.
    • 雑誌名

      Inorganic and Nano-Metal Chemistry

      巻: 41 ページ: 401-411

    • DOI

      doi.org/10.1080/24701556.2019.1661464

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Laser Direct writing of Conductive Carbon Microelectrodes and Device Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Watanabe, A., Cai J.
    • 雑誌名

      Proceedings of LAMP 2019

      巻: 19-025 ページ: 1-5

    • 国際共著
  • [雑誌論文] Facile Preparation of Holey Carbon Nanotubes Assisted by Ag Nanoparticle Catalysts for Highperformance Micro-supercapacitor2019

    • 著者名/発表者名
      Gan, L., Xu,C., Yang, J., Yunfeng Ma, Y., Cai, J., Watanabe, A.
    • 雑誌名

      Chem. Lett.

      巻: 48 ページ: 795-798

    • DOI

      doi:10.1246/cl.190094

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Recent Advances in Graphene-Based Humidity Sensors2019

    • 著者名/発表者名
      Lv, C., Hu,C., Luo,J., Liu, S., Qiao, Y., Zhang, Z., Song,J., Shi, Y., Cai , J., Watanabe, A.
    • 雑誌名

      Nanomaterials

      巻: 9 ページ: 1-42

    • DOI

      doi.org/10.3390/nano9030422

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Laser reduced graphene oxide-based interdigitated electrode for sensor applications2019

    • 著者名/発表者名
      Watanabe, A., Cai, J., Ogawa, S., Aoyagi, E., Ito, S.
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE 10906, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XIV

      巻: 10906 ページ: 10906:1-10

    • DOI

      doi: 10.1117/12.2507540

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Formation of graphene hybrid structures by laser direct writing and sensor applications2020

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Ashiqur Rahman, Jinguang Cai, Jinguang, Mohammod Aminuzzaman
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2020
    • 国際学会
  • [学会発表] レーザー直接描画法によるグラフェンハイブリッド構造 の形成とセンサー応用2020

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明,Rahman Ashiqur , Cai Jinguang , Aminuzzaman Mohammod
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] アグリセンシング技術を目指したアンテナ型センサー2020

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明,Rahman Ashiqur
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] In-plane micro-supercapacitor based on carbon-copper hybrid electrode prepared by laser direct writing2020

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Tomoko Kozono, Toru Yumoto
    • 学会等名
      第69回高分子学会年次大会
  • [学会発表] アグリセンシングを目指したアンテナ型センサーデバイス2020

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明,Rahman Ashiqur
    • 学会等名
      第69回高分子学会年次大会
  • [学会発表] 金属酸化物ナノ粒子と酸化グラフェンとのハイブリッド膜への レーザー直接描画による微細構造形成2020

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明, 蔡 金光, Mohammod Aminuzzam, 小川 沙也加, 青柳 英二, 伊藤 俊
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第40回年次大会
  • [学会発表] Laser direct writing of conductive carbon microelectrodes and device applications2019

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Jinguang Cai
    • 学会等名
      The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Laser Direct Writing of Microstructure on Graphene Oxide/Metal Oxide Hybrid Film2019

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Mohammod Aminuzzaman, Jinguang Cai , Md. Akhtaruzzaman, Sayaka Ogawa, Eiji Aoyagi, Shun Ito
    • 学会等名
      The 36th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 国際学会
  • [学会発表] Laser reduced graphene oxide-based interdigitated electrode for sensor applications2019

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Jinguang Cai, Sayaka Ogawa, Eiji, Aoyagi, Shun Ito
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2019
  • [学会発表] Laser Direct Writing of Graphene-Based Interdigitated Electrode and Sensor Application2019

    • 著者名/発表者名
      Akira Watanabe, Jinguang Cai
    • 学会等名
      International Symposium on SSS Laser Processing (3S-LP)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 金属酸化物ナノ粒子および酸化グラフェンを元素ブロックとして用いたレーザー直接描画法によるデバイス形成2019

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明, 蔡 金光, 小川 沙也加, 青柳 英二, 伊藤 俊
    • 学会等名
      第68回高分子討論会
  • [学会発表] レーザー直接描画法で形成したグラフェンハイブリッド構造のセンサー応用2019

    • 著者名/発表者名
      渡辺 明, 蔡 金光, Mohammod Aminuzzam, 小川 沙也加, 青柳 英二, 伊藤 俊
    • 学会等名
      第38回無機高分子研究討論会

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公開日: 2021-01-27  

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