巨大複合クラスターによる高速・無損傷表面処理加工技術の開発

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15H04157
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・組織制御工学
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 瀬木 利夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: クラスター / イオンビーム / 中性ビーム / 反応性エッチング / ナノプロセス

研究成果の概要

京都大学発の独創技術であるガスクラスター生成技術を活用し、材料ガスへのHe混合による巨大クラスター初期速度制御等による巨大複合クラスターイオンの形成と加速制御技術の開発を行った。これにより0.1～0.4eV/atom程度の範囲でエネルギー制御された巨大複合クラスタービーム形成技術の開発に成功した。

自由記述の分野

イオンビーム工学