| 研究課題/領域番号 |
15H04159
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
江利口 浩二 京都大学, 工学研究科, 教授 (70419448)
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| 研究分担者 |
長谷川 繁彦 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (50189528)
斧 高一 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30311731)
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| 研究協力者 |
野間 正男 神港精機株式会社, 主任
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | プラズマ / 結晶・組成制御 / ナノ材料 / 材料加工・処理 |
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| 研究成果の概要 |
窒化ホウ素膜（BN膜）は、sp3軌道やsp2軌道からなるネットワーク構造をとりうる特異な材料である。本研究では、その混相系の組成制御技術の確立を目指し、プラズマ曝露によるBN膜構造変化を解析する。BN膜にプラスマ処理を施し、その表面構造・組成をナノスケールで解析した結果、入射するイオンのエネルギーに依存し押し込み硬さなどの物性値が変化することを観測した。また、分子動力学法によるシミュレーションコードを開発し、その構造変化過程を予測した結果、表面数ナノの領域でのAr原子の入射エネルギーに依存した表面構造変化を確認した。イオンエネルギー制御によるBN膜最適構造設計が可能であることがわかった。
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| 自由記述の分野 |
プラズマ応用工学
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