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2016 年度 実績報告書

ドット集積構造の原子制御による電子相関誘起

研究課題

研究課題/領域番号 15H05406
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

佐藤 宗英  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 主任研究員 (00509961)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2019-03-31
キーワード原子制御材料化学
研究実績の概要

新規ドット前駆体合成に関してはドット前駆体から形成するドットの電子透過顕微鏡による観察を開始した。デバイス作製に関しては、ドットへの電荷注入を検討するため原子層堆積(ALD)膜の膜厚の検討を開始した。また、ドット積層構造の熱伝導測定で予備的な結果が得られた。一方で、本研究で主に利用しているナノテクノロジープラットフォームのALD装置の利用料が一切の予告なく年度始めから4倍となったため対応に追われた。具体的には、ALD装置を自作することを検討し、装置のデザインや部材の手配計画の立案等を行った。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

4: 遅れている

理由

ナノテクノロジープラットフォームのALD装置の利用料が一切の予告なく年度始めから4倍となったため、予定外にALD装置を自作するための手配に追われたため。

今後の研究の推進方策

ALD装置の利用料が4倍となったことで年間使用料と比較しても簡易版を自作するのに必要なコストに見合うため、夏を目標にALD装置を自作する。遠回りに思えるが、プロセス速度を規定するチャンバーのサイズの選定やALD前駆体ライン追加が容易になるなど研究の自由度があがる。ALD装置の自作と並行して、ALD膜に埋め込まれたドットの構造解析を行うことで、機能・構造相関の解明を推し進める。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 1件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] A Potential in Thermoelectric Oxide Phononic Crystal2017

    • 著者名/発表者名
      Norifusa Satoh
    • 雑誌名

      Solid State Phenomena

      巻: 257 ページ: 156-159

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/SSP.257.156

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Multistep inorganic synthesis of thin films2017

    • 著者名/発表者名
      Norifusa Satoh
    • 雑誌名

      Interdisciplinary Journal of Chemistry

      巻: 1 ページ: 52-57

    • DOI

      10.15761/IJC.1000109

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ALD反応炉内での原子制御型ドット堆積を目指したスプレー法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      佐藤宗英
    • 学会等名
      化学工学会 反応工学部会 CVD 反応分科会 第 25 回シンポジウム 「原子層堆積/原子層エッチングの基礎と応用」
    • 発表場所
      東京大学 本郷キャンパス(東京都文京区)
    • 年月日
      2017-02-01 – 2017-02-01
    • 招待講演
  • [学会発表] 精密有機無機ハイブリッド剤によるナノ粒子の原子制御2016

    • 著者名/発表者名
      佐藤宗英
    • 学会等名
      第35回無機高分子討論会
    • 発表場所
      東京理科大学 森戸記念館(東京都新宿区)
    • 年月日
      2016-11-17 – 2016-11-18
    • 招待講演
  • [学会発表] ALD toward a game-changing thermoelectric application with atomically precise dot deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Norifusa Satoh
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on ALD Applications & 2016 China ALD Conference
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 年月日
      2016-10-16 – 2016-10-18
    • 国際学会

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公開日: 2018-01-16  

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