成膜中の連続膜形成を検知する革新的超音波センサの開発

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15H05503
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 中村 暢伴 大阪大学, 基礎工学研究科, 助教 (50452404)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: 超音波センサ / 金属膜 / 連続膜 / 共振 / 圧電体

研究成果の概要

本研究では、金属薄膜の成膜中に、膜厚がわずか数nmのときに生じる、不連続な島状組織から連続膜への形態変化のタイミングを感度良く検出することのできる新しい超音波センサの開発に取り組んだ。基板に触れることなく、基板の裏側から検出できるという特徴を有したセンサを開発することができ、異なる基板や成膜条件での実験によって開発したセンサが適用できる条件を明らかにするとともに、等価回路を用いた解析により形態変化の検出原理を解明した。

自由記述の分野

ナノメカニクス