単一駆動部による多自由度MEMSスキャナの制御とそのデバイス応用

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15H05514
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 早稲田大学
• 研究代表者: 岩瀬 英治 早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (70436559)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / MEMSスキャナ

研究成果の概要

本研究では、支持梁の幾何形状を工夫することで各自由度に対する共振周波数をデザインすることのより、1対の支持梁および単一駆動部かつ1つの重畳制御信号のみで3自由度駆動可能なMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) スキャナの実現を目的とした。研究の結果、単一の磁場によるローレンツ力という単一の駆動機構および、3つの共振周波数を重ね合わせた1つの重畳駆動信号によって、各変形モードを独立かつ線形的に変位制御できることを示した。

自由記述の分野

マイクロマシン，MEMS