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2017 年度 研究成果報告書

金属蒸気触媒CVDによるグラフェンの絶縁基板上直接合成と高効率MOS冷陰極の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 15H05522
研究種目

若手研究(A)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所 (2016-2017)
筑波大学 (2015)

研究代表者

村上 勝久  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20403123)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードグラフェン / 化学気相成長 / 電子放出デバイス
研究成果の概要

ガリウム蒸気を触媒として用いた絶縁基板上へのグラフェン合成手法を開発した。グラフェンの初期成長過程の観察から、グラフェン成長の初期に結晶核が発生し、結晶核が成長し核同士がつながっていく様子が観察できた。また、高分解能透過型電子顕微鏡による原子レベル構造解析により、結晶ドメインサイズは50~200 nm程度であり、ドメイン内は結晶欠陥の無いグラフェンであることが分かった。
開発したグラフェン合成手法を用いて、グラフェンを上部電極としたグラフェン/酸化膜/半導体積層構造の平面型電子放出素子を試作し特性評価を実施した。従来素子と比較して電子放出効率が100倍以上向上することを明らかにした。

自由記述の分野

グラフェン, 電子放出デバイス

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公開日: 2019-03-29  

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