| 研究課題/領域番号 |
15H05759
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 工学研究科, 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
清水 裕樹 東北大学, 工学研究科, 准教授 (70606384)
松隈 啓 東北大学, 工学研究科, 助教 (90728370)
陳 遠流 東北大学, 工学研究科, 准教授 (90794058)
伊東 聡 東北大学, 工学研究科, 助教 (00624818)
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| 研究期間 (年度) |
2015-05-29 – 2020-03-31
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| キーワード | 精密位置決め / 加工計測 / 超精密計測 |
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| 研究成果の概要 |
超精密光計測学のフロンティア開拓を目的として，2軸光ナノグリッドと光絶対周波数コムを融合した多軸光絶対スケールコムを開発した．干渉グリッド定在波生成光学系を構築し，100mm四方の大面積に渡るサブμmピッチのナノグリッドを一括露光するとともに，そのZ平面度，XYピッチ誤差の一括自律校正法を確立した．さらに，ナノグリッドの分光機能をもとに光コム光源を光絶対スケールコムに変換する新理論を確立した．
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| 自由記述の分野 |
生産工学・加工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で提案する光絶対スケールコムは，「周波数」および「時間」の国家標準に直結した高安定・高精度な光学式計測を実現するもので，その学術的意義が大きい．ノーベル物理学賞を受賞した光周波数コムを基盤とする超精密光計測学のフロンティアを切り拓き，各種生産加工現場と国家標準とを直結して計測校正精度を現場での安定性限界まで向上するもので，関連分野を含む産業的科学的波及性が高いなど，社会的意義が大きい．
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