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2018 年度 研究成果報告書

Si-Ge系スーパーアトム構造のセルフアライン集積による光・電子物性制御

研究課題

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研究課題/領域番号 15H05762
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

宮崎 誠一  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70190759)

研究分担者 牧原 克典  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (90553561)
大田 晃生  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (10553620)
研究協力者 池田 弥央  
研究期間 (年度) 2015-05-29 – 2019-03-31
キーワードSi系量子ドット / スーパーアトム
研究成果の概要

本研究では、Si極薄熱酸化膜上にGeコアSi量子ドットを高密度・一括形成し、PL発光において、Geコアの量子準位間での電子-正孔再結合が支配的であることを明らかにした。また、PをGeコアに添加することで、真性GeコアSi量子ドットに比べ正帯電を低電圧化できることが分かった。発光デバイスを作製し、室温発光特性を評価した結果、GeコアSi量子ドット内に電子・正孔を交互あるいは同時注入することで、量子準位間での電子-正孔再結合に起因する発光が起こることを明らかにした。さらには、Si細線上にGeコアSi量子ドットを高密度形成した場合、細線構造に起因した発光波長の狭帯化が生じることも実証した。

自由記述の分野

半導体工学

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で得られた成果は、シリコンULSIプロセスとの整合性が高く、シリコン・フォトニクスにおいて実現が極めて困難であると考えられていた電流注入型シリコン系レーザの開発に繋がると期待できる。さらには、飛躍的な進歩を遂げているシリコンULSI 技術をベースにSi 系量子ドットトランジスタやフローティングメモリデバイスを組み合わせて、将来の少数電子・少数光子を使った大規模な高度情報処理へと発展する可能性が高い。

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公開日: 2020-03-30  

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