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2018 年度 実績報告書

オンチップ光配線のための超低消費電力半導体薄膜光回路の構築

研究課題

研究課題/領域番号 15H05763
研究機関東京工業大学

研究代表者

荒井 滋久  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (30151137)

研究分担者 松尾 慎治  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, ナノフォトニクスセンタ, 上席特別研究員 (00590473)
硴塚 孝明  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, ナノフォトニクスセンタ, 主任研究員 (20522345)
西山 伸彦  東京工業大学, 工学院, 准教授 (80447531)
雨宮 智宏  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (80551275)
研究期間 (年度) 2015-05-29 – 2019-03-31
キーワード光デバイス / 光回路 / 半導体薄膜光デバイス / 低消費電力光デバイス / 光配線
研究実績の概要

本研究は、将来的なCMOS基板上高速光通信の実現に向けて、研究代表者が提案してきた極低消費電力動作可能な薄膜半導体レーザを中心とする薄膜光回路の構築を目的としている。
平成29年度までに、薄膜レーザの低電流・高効率動作を目的として、分布反射型(DR)レーザ構造の導入を行うと共に、その低電流・高効率動作ならびに高速変調動作化に注力し、低電流動作(しきい値電流0.21 mA)および高効率動作(前方光出力に対する外部微分量子効率32%、電力変換効率12%)を両立することに成功した。さらに、その高速直接変調特性を評価した結果、変調電流効率は通常の光ファイバ通信用レーザの2-3倍と高く、信号速度と変調に用いた入力電力の比であるエネルギーコストは93 fJ/sであり、半導体薄膜レーザとして初めて100 fJ/s以下の低エネルギーコスト動作を達成した。
平成30年度は、低エネルギーコストのオンチップ光配線に向けた理論的解明を中心とした研究を行った。その結果、薄膜分布反射型レーザの回折格子を深め、活性領域である分布帰還(DFB)領域長を短縮化し、薄膜レーザと薄膜受光器間の伝搬損失を従来仮定していた5 dBから1 dBに低減することにより、変調速度20 Gbit/sにおいても20 fJ/s以下の低エネルギーコスト光リンクが構成できることを理論的に明らかにした。ここで、回折格子を深めることによる散乱損失が薄膜分布反射型レーザのしきい値電流および微分量子効率に与える影響は軽微であることを理論的に明らかにした。また、オンチップ光リンクのための超小型半導体薄膜光検出器として、後端側に回折格子分布反射器を集積して光吸収領域を短縮化した光検出器の理論解析を行い、回折格子を付加しない素子に比べて1/3の長さで動作電圧-1 Vに対して3 dB帯域17 GHzが実現可能であることを明らかにした。

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (73件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (61件) (うち国際学会 30件、 招待講演 6件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Analysis of an I/O metal grating coupler for organic membrane photonic integrated circuits2019

    • 著者名/発表者名
      Masuda Keisuke、Amemiya Tomohiro、Kagami Hibiki、Tanaka Makoto、Nishiyama Nobuhiko、Arai Shigehisa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 ページ: 051012~051012

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab1336

  • [雑誌論文] Demonstration of slow-light effect in silicon-wire waveguides combined with metamaterials2019

    • 著者名/発表者名
      Amemiya Tomohiro、Yamasaki Satoshi、Tanaka Makoto、Kagami Hibiki、Masuda Keisuke、Nishiyama Nobuhiko、Arai Shigehisa
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 27 ページ: 15007~15007

    • DOI

      10.1364/OE.27.015007

  • [雑誌論文] Design of GaInAs/InP membrane p-i-n photodiodes with back-end distributed Bragg reflector2019

    • 著者名/発表者名
      X. Zheng, T. Amemiya, Z. Gu, K. Saito, N. Nishiyama, S. Arai
    • 雑誌名

      Journal of the Optical Society of America B

      巻: 36 ページ: 1054~1061

    • DOI

      10.1364/JOSAB.36.001054

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 多光子吸収造形を用いたチップ間光インタコネクション2019

    • 著者名/発表者名
      雨宮 智宏
    • 雑誌名

      TELECOM FRONTIER

      巻: 101 ページ: 1~5

  • [雑誌論文] Semiconductor Membrane Lasers and Photodiode on Si2018

    • 著者名/発表者名
      S. Arai, T. Amemiya
    • 雑誌名

      Semiconductors and Semimetals

      巻: 99 ページ: 71~95

    • DOI

      10.1016/bs.semsem.2018.07.002

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Highly efficient double-taper-type coupler between III-V/silicon-on-insulator hybrid device and silicon waveguide2018

    • 著者名/発表者名
      J. Suzuki, F. Tachibana, K. Nagasaka, M. Eissa, L. Bai, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 ページ: 94101

    • DOI

      10.7567/JJAP.57.094101

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si-Photonics-Based Layer-to-Layer Coupler Toward 3D Optical Interconnection2018

    • 著者名/発表者名
      N. Nishiyama, J. Kang, Y. Kuno, K. Itoh, Y. Atsumi, T. Amemiya, S. Arai
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics

      巻: E101-C ページ: 501~508

    • DOI

      10.1587/transele.E101.C.501

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of the slow-light effect in silicon wire waveguides with metamaterials2018

    • 著者名/発表者名
      S. Yamasaki, T. Amemiya, Z. Gu, J. Suzuki, N. Nishiyama, S. Arai
    • 雑誌名

      Journal of the Optical Society of America B

      巻: 35 ページ: 797~804

    • DOI

      10.1364/JOSAB.35.000797

    • 査読あり
  • [学会発表] Si-based Orbital Angular Momentum Mux/Demux Module2019

    • 著者名/発表者名
      T. Amemiya, T. Yoshida, Y. Atsumi, N. Nishiyama, Y. Miyamoto, Y. Sakakibara, S. Arai
    • 学会等名
      IEEE International Nanoelectronics Conference (INEC 2019)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Siフォトニクスによる光渦MUX/DEMUXモジュール2019

    • 著者名/発表者名
      雨宮 智宏, 吉田 知也, 渥美 裕樹, 西山 伸彦, 宮本 恭幸, 榊原 陽一, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2019年総合大会
    • 招待講演
  • [学会発表] Taper Length Dependence of Double-Taper-Type Coupler for GaInAsP/SOI Hybrid Integrated Platform2019

    • 著者名/発表者名
      T. Miyazaki, F. Tachibana, T. Kikuchi, T. Hiratani, H. Yagi, M. Eissa, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019: 31st International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Buried-ridge-waveguide Type GaInAsP/InP Membrane Distributed-Reflector Lasers for Reduction of Differential Resistance2019

    • 著者名/発表者名
      N. Takahashi, N. Nakamura, T. Yoshida, W. Fang, T. Amemiya, N. Nishiyama,S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019: 31st International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Investigation of InP/Si bonding condition for optimizing Photoluminescence property by Surface Activated Bonding based on Fast Atom Beam2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019: 31st International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] High Yield Chip-on-wafer Low Temperature Plasma Activated Bonding for III-V/Si Hybrid Photonic Integration2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kikuchi, L. Bai, T. Mitarai, H. Yagi, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Metamaterial infrared refractometer for detecting broadband complex refractive index of liquid material2019

    • 著者名/発表者名
      H. Kagami, T. Amemiya, M. Tanaka, K. Masuda, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2019 (CLEO 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of slow-light effect in metamaterial-loaded Si waveguide2019

    • 著者名/発表者名
      M. Tanaka, T. Amemiya, S. Yamasaki, H. Kagami, M. Tanaka, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2019 (CLEO 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Orbital Angular Momentum Mux/Demux Module Using Vertically Curved Si Waveguides2019

    • 著者名/発表者名
      T. Amemiya, T. Yoshida, Y. Atsumi, N. Nishiyama, Y. Miyamoto, Y. Sakakibara, S. Arai
    • 学会等名
      2019 Optical Fiber Communication Conference (OFC 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] III-V/Siハイブリッド集積プラットホーム実現に向けたハイブリッド/シリコン領域2段テーパ導波路のテーパ構造依存性2019

    • 著者名/発表者名
      宮嵜 隆之, 立花 文人, 菊地 健彦, 平谷 拓生, 八木 英樹, Moataz Eissa, 御手洗 拓矢, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年総合大会
  • [学会発表] GaInAsP/InPリッジ埋め込み構造による半導体薄膜分布反射型レーザの微分抵抗2019

    • 著者名/発表者名
      高橋 直樹, 中村 なぎさ, 吉田 崇将, 方 偉成, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] トポロジカルエッジ伝送路におけるカプラ構造の提案2019

    • 著者名/発表者名
      齋藤 孝一, 雨宮 智宏, 鄭 叙, 中村 なぎさ, 西山 伸彦, 胡 暁, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] Si系トポロジカルエッジ伝送路における光渦状態の制御2019

    • 著者名/発表者名
      雨宮 智宏, 各務 響, 齋藤 孝一, 田中 真琴, 増田 佳祐, 西山 伸彦, 胡 暁, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] Si系トポロジカルフォトニクス伝送路における導波モード解析2019

    • 著者名/発表者名
      各務 響, 雨宮 智宏, 齋藤 孝一, 田中 真琴, 増田 佳祐, 西山 伸彦, 胡 暁, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] Si 曲げ導波路方向性結合器を用いたループミラーの作製と評価2019

    • 著者名/発表者名
      御手洗 拓矢, Moataz Eissa, 立花 文人, 宮嵜 隆之, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] メタマテリアル光導波路におけるスローライト効果の光制御法2019

    • 著者名/発表者名
      田中 真琴, 雨宮 智宏, 各務 響, 増田 佳祐, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] フォトニック結晶構造を用いた半導体薄膜光検出器におけるテーパ構造の検討2019

    • 著者名/発表者名
      齋藤 孝一, 雨宮 智宏, 鄭 叙, 中村 なぎさ, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] メタマテリアルを用いた液体材料用の広帯域複素屈折率計2019

    • 著者名/発表者名
      各務 響, 雨宮 智宏, 田中 真琴, 増田 佳祐, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] Investigation of stress dependence on bonding strength for III-V/Si chip-on-wafer by plasma activated bonding2019

    • 著者名/発表者名
      L. Bai, T. Kikuchi, T. Mitarai, N. Nishiyama, H. Yagi, T. Amemiya, S. Arai
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] Investigation of InP/Si bonding condition for suppressing degradation of Photoluminescence property using Surface Activated Bonding2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      第66回応用物理会春季学術講演会
  • [学会発表] メタマテリアル装荷Si導波路におけるスローライト効果の光制御2019

    • 著者名/発表者名
      田中 真琴, 雨宮 智宏, 各務 響, 増田 佳祐, 山﨑 理司, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
  • [学会発表] Photonic functional devices based on magneto-optics2018

    • 著者名/発表者名
      T. Mizumoto, K. Okazeri, Y. Shoji, K. Muraoka, S. Nakagawa, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      International Conference on Fiber Optics and Photonics 2018 (Photonics 2018)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Low Threshold Current and High-speed Operation of Membrane Lasers2018

    • 著者名/発表者名
      S. Arai, N. Nishiyama, T. Amemiya
    • 学会等名
      IEEE Photonics Conference 2018 (IPC 2018)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaInAsP/InP Membrane Lasers for On-chip ApplicationsGaInAsP/InP Membrane Lasers for On-chip Applications2018

    • 著者名/発表者名
      T. Amemiya, D. Inoue, T. Hiratani, T. Tomiyasu, T. Uryu, N. Nakamura, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      European Conference on Integrated Optics 2018 (ECIO 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Membrane DFB and DR Lasers for Low-power Consumption and High-speed Operation2018

    • 著者名/発表者名
      S. Arai
    • 学会等名
      SPIE Photonics Europe 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Energy Cost Study of Membrane Distributed-Reflector (DR) Lasers for High-Speed Modulation2018

    • 著者名/発表者名
      N. Nakamura, T. Yoshida, W. Fang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Investigation of Photoluminescence Intensity of GaInAs/InP Quantum-Wells Irradiated by Various Fast Atom Beam Sources2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical-Response Analysis of Voltage-Modulated 1.3 μm Wavelength AlGaInAs/InP Transistor Laser2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Goto, S. Yoshitomi, K. Yamanaka, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Asia Communications and Photonics Conference (ACP 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Energy Cost Analysis of Ridge-waveguide Type Membrane Distributed-Reflector Lasers for On-chip Application2018

    • 著者名/発表者名
      N. Nakamura, T. Yoshida, W. Fang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] 90 ℃ CW operation of 1.3um wavelength npn-AlGaInAs/InP transistor lasers by thick and wide base-electrode2018

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshitomi, K. Yamanaka, Y. Goto, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of SU-8/CYTOP membrane waveguide and metal grating coupler for organic membrane photonic integrated circuits2018

    • 著者名/発表者名
      K. Masuda, T. Amemiya, H. Kagami, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] p-MoS2/HfS2 van der Waals Heterostructure Transistor Using Ni Backgate Buried in HfO2 Dielectric2018

    • 著者名/発表者名
      W. Zhang, S. Netsu, Toru Kanazawa, T. Amemiya, Y. Miyamoto
    • 学会等名
      2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Design of GaInAs/InP membrane p-i-n photodiode with back-end distributed-Bragg-reflector (DBR)2018

    • 著者名/発表者名
      X. Zheng, Z. Gu, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2018 (CLEO-Pacific Rim 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Broadband Infrared Refractive Index Measurement Using Plasmonic Antenna Resonance2018

    • 著者名/発表者名
      H. Kagami, T. Amemiya, S. Yamasaki, K. Masuda, Z. Gu, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Comparison of FMCW-LiDAR system with optical- and electrical- domain swept light sources toward self-driving mobility application2018

    • 著者名/発表者名
      N. J. Jitcharoenchai, N. Nishiyama, T. Amemiya, S. Arai
    • 学会等名
      The 19th Coherent Laser Radar Conference (CLRC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Investigation of InP/Si Die-to-wafer Low-Temperature Plasma Activated Bonding for Heterogeneous Integrated Substrate2018

    • 著者名/発表者名
      L. Bai, T. Kikuchi, J. Suzuki, K. Nagasaka, N. Nishiyama, H. Yagi, T. Amemiya, S. Arai
    • 学会等名
      19th International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XIX)
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of InGaAs Nanosheet Transistors with Regrown Source2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kanazawa, K. Ohsawa, T. Amemiya, N. Kise, R. Aonuma, Y. Miyamoto
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2018: 30th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] High Efficiency Optical Mode Coupling Between Si Waveguide and III-V/Si Hybrid Sections by Double Taper-Type Coupler Structure2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kikuchi, J. Suzuki, F. Tachibana, N. Inoue, H. Yagi, M. Eissa, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2018: 30th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Photoluminescence Properties of GaInAs/InP Layers by Ar Fast Atom Beam for Room Temperature Surface Activated Bonding Toward Hybrid PIC2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, K. Nagasaka, J. Suzuki, L. Bai, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2018: 30th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Reduction of Lasing Wavelength Variation Due to Injection Current into GaInAsP/InP Membrane Distributed-Reflector Laser Bonded on Si2018

    • 著者名/発表者名
      W. Fang, T. Uryu, D. Inoue, N. Nakamura, T. Yoshida, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2018: 30th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Introduction of Ridge-Waveguide Structure for Low-Power Operation of GaInAsP/InP Membrane Distributed-Reflector Laser2018

    • 著者名/発表者名
      N. Nakamura, T. Uryu, Z. Gu, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2018: 30th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Slow-light Si-wire Waveguide with Metamaterial2018

    • 著者名/発表者名
      S. Yamasaki, T. Amemiya, Z. Gu, J. Suzuki, K. Masuda, H. Kagami, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2018 (CLEO 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Infrared Invisibility Cloak Using Rolled Metamaterial Film2018

    • 著者名/発表者名
      T. Amemiya, S. Yamasaki, T. Kanazawa, Z. Gu, D. Inoue, A. Ishikawa, N. Nishiyama, T. Tanaka, T. Urakami, S. Arai
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2018 (CLEO 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of broadband loop mirror using Si optical waveguide curved directional coupler2018

    • 著者名/発表者名
      T. Mitarai, M. Eissa, T. Miyazaki, F. Tachibana, L. Bai, Y. Wang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
  • [学会発表] Examination of Chip-on-Wafer Plasma Activated Bonding Technology for III-V on Si hybrid Photonic Integrated Circuits2018

    • 著者名/発表者名
      L. Bai, T. Kikuchi, T. Mitarai, N. Nishiyama, H. Yagi, T. Amemiya, S. Arai
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
  • [学会発表] High optical coupling efficiency by double taper-type coupler structure towards III-V/Si hybrid photonic integration2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kikuchi, J. Suzuki, F. Tachibana, N. Inoue, H. Yagi, M. Eissa, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
  • [学会発表] Siフォトニクスによる光渦MUX/DEMUXモジュール2018

    • 著者名/発表者名
      雨宮 智宏, 吉田 知也, 渥美 裕樹, 西山 伸彦, 宮本 恭幸, 榊原 陽一, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
  • [学会発表] 金属反射膜付有機薄膜光集積回路用入出力グレーティングカプラの解析2018

    • 著者名/発表者名
      増田 佳祐, 雨宮 智宏, 各務 響, 田中 真琴, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
  • [学会発表] 非対称paired bar 構造光アンテナを用いた赤外屈折率測定法における共振スペクトル特性2018

    • 著者名/発表者名
      各務 響, 雨宮 智宏, 増田 佳祐, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 埋め込みNiバックゲートを用いたp-MoS2/HfS2トンネルFET2018

    • 著者名/発表者名
      張 文倫, 祢津 誠晃, 金澤 徹, 雨宮 智宏, 宮本 恭幸
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 金属反射膜付有機薄膜光集積回路用入出力グレーティングカプラの解析2018

    • 著者名/発表者名
      増田 佳祐, 雨宮 智宏, 各務 響, 田中 真琴, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] GaInAsP/InPリッジ導波路型半導体薄膜DRレーザの高速動作下におけるエネルギーコスト2018

    • 著者名/発表者名
      中村 なぎさ, 吉田 崇将, 方 偉成, 高橋 直樹, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Si光回路におけるループミラーの波長依存性低減の検討2018

    • 著者名/発表者名
      御手洗 拓矢, エイッサ モータズ, 鈴木 純一, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Gas Species Comparison of Fast Atom Beam Irradiation to Photoluminescence Properties of GaInAs/InP layers for Surface Activated Bonding2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Mitarai, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] InP/Si Chip-on-Waferプラズマ活性化接合における加重依存性の検討2018

    • 著者名/発表者名
      白 柳, 菊地 健彦, 西山 伸彦, 八木 英樹, 雨宮 智宏, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Si湾曲カプラ用いた光渦MUX/DEMUXモジュール2018

    • 著者名/発表者名
      雨宮 智宏, 吉田 知也, 渥美 裕樹, 西山 伸彦, 宮本 恭幸, 榊原 陽一, 荒井 滋久
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 2D-FDTD法による表面回折格子の散乱係数解析とその薄膜DRレーザ特性への影響2018

    • 著者名/発表者名
      吉田 崇将, 中村 なぎさ, 方 偉成, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年ソサイエティ大会
  • [学会発表] III-V/Si ハイブリッドSOA集積に向けたハイブリッド/シリコン2段テーパ導波路のテーパ長依存性2018

    • 著者名/発表者名
      立花 文人, 鈴木 純一, 菊地 健彦, 井上 尚子, 八木 英樹, Moataz Eissa, 御手洗拓矢, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年ソサイエティ大会
  • [学会発表] 1.3 um帯npn-AlGaInAs/InP トランジスタレーザの高温連続動作2018

    • 著者名/発表者名
      吉冨翔一, 山中健太郎, 後藤優征, 西山伸彦, 荒井滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年ソサイエティ大会
  • [学会発表] キャリア変動による利得特性変化を考慮した電圧変調 1.3 um帯npn-AlGaInAs/InP トランジスタレーザの大信号解析2018

    • 著者名/発表者名
      後藤優征, 吉冨翔一, 山中健太郎, 西山伸彦, 荒井滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2018年ソサイエティ大会
  • [学会発表] 光アンテナを用いた広帯域赤外屈折率測定法の提案2018

    • 著者名/発表者名
      各務 響, 雨宮智宏, 増田佳祐, 西山伸彦, 荒井滋久
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
  • [備考] 東京工業大学荒井・西山研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/index.html

  • [備考] Arai-Nishiyama Lab. Tokyo Institute of Technology

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/index-e.html

  • [産業財産権] 光機能デバイスの制御方法および制御装置2019

    • 発明者名
      雨宮 智宏, 田中 真琴, 荒井 滋久
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2019-1417
  • [産業財産権] 屈折率測定装置、ナノアンテナ装着基板、屈折率測定方法およびプログラム2018

    • 発明者名
      [61].雨宮 智宏, 各務 響, 荒井 滋久
    • 権利者名
      東京工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2018-103988

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公開日: 2019-12-27  

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