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多様な物性を示す物質が発見されている中、それらを実際にデバイスとして利用するには薄膜化と微細加工が必須である。本研究では、興味深い物性を示すにも関わらず、従来の方法では微細化が難しかった物質に利用できる汎用なプロセスの開発を行った。溶液で容易に除去できる高融点物質を用いて、基板上にあらかじめテンプレート層を作製し、その上に目的の物質を堆積した。その後、テンプレート層を溶液によって除去することで、目的の物質を劣化することなく微細加工することができた。今後様々な物質群に適用することで、新たな機能を持ったデバイス作製が可能になると期待される。
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