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溶液原料を用いながらも、気相反応を介して成膜が可能なミストCVD法は、液相法と気相法の両方の特徴を有する手法である。液体原料を用いて形成されることが多い有機無機ペロブスカイトにこのミストCVD法を適用する検討を行った。横型のミストCVD装置を用いることで、液体原料を利用しながらも気相反応で有機無機ペロブスカイトが形成できることを示した。またこのミストCVD法は液体原料に溶解することができれば、どのような材料も溶解できるといった特徴を有している。この特徴を活かして、混晶材料を同時に溶解させることで、有機無機ペロブスカイトの混晶膜の形成に成功した。
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