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2015 年度 実施状況報告書

2パルス励起プロセスを用いた非平衡的ナノ結晶成長制御

研究課題

研究課題/領域番号 15K04629
研究機関甲南大学

研究代表者

梅津 郁朗  甲南大学, 理工学部, 教授 (30203582)

研究分担者 吉田 岳人  阿南工業高等専門学校, 創造技術工学科, 教授 (20370033)
福岡 寛  奈良工業高等専門学校, 機械工学科, 講師 (40582648)
青木 珠緒 (松本珠緒)  甲南大学, 理工学部, 教授 (80283034)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードナノ粒子 / レーザーアブレーション / プルーム / 複合ナノ粒子 / レーザープロセッシング / 光触媒
研究実績の概要

当該年度は新たなダブルレーザーアブレーションシステムの立ち上げを中心に行った。本システムのチャンバーはターゲットに対して堆積基盤を垂直に配置し位置の制御も比較的容易なため、堆積物の空間分布を把握できる。ナノ結晶の空間分布は簡便なプルームの写真撮影で予測できることを示し、これらからナノ粒子に対してデブリと呼ばれるミクロンサイズの粒子の堆積量が少ない条件が得られることを示した。その後にプルームの分光システムを立ち上げ、SiとGeのダブルレーザーアブレーション中のプルーム衝突過程を測定した。中性種であるSiⅠとイオン種であるSiⅡの発光の空間的進展を観察したところ、SiⅡはSiⅠと比較して対向Geプルームの影響を大きく受けていることが分かった。これはイオン種である対向GeⅡによるクーロン反発力の影響であると考えられる。このような対向荷電粒子のプルーム進展に関する報告はこれまでになく、今後のダブルレーザーアブレーション法によるナノ粒子堆積に関して重要な情報となる。また、より広義には衝突するプラズマの荷電粒子の挙動を解釈する基礎データもなる。本研究の目的の一つとして、この技術を触媒・助触媒結合系ナノ結晶の作成に応用することがある。そこで触媒・助触媒結合系の代表であるTiO2とNiをターゲットとしてダブルレーザーアブレーションを行った。その結果、Si/Ge系と異なり、バックグラウンドガスによるプルームの閉じ込め効果が少ない、比較的低い圧力領域で衝突による発光強度の上昇が観測された。Si/Ge系との違いの詳細は不明であるが、混合領域で分子粒的な衝突が起こっていることが示唆され、混合物の形成に有力な情報となる。以上のように試料作成の基礎となるプルーム進展において新たな知見が得られた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

この年度の主な目的は特にプラズマ発光分析と流体力学シミュレーションの比較から ダブルレーザーアブレーションにおけるプルーム 進展の定量的解析に重点を置くことであった。プラズマ発光分析に関してはこれまでにはない新しい知見が得られた。流体力学シミュレーションも並行して行っているが、プラズマ発光分析と流体力学シミュレーションの定量的比較が十分ではない。総合的に見れば新たな知見が得られているために順調とも言えるが、この部分に着目すればやや遅れていると言える。またレーザー誘起ブレークダウン分光システムを組み始めることも目的であり、予定通りシステムの構築を開始した。

今後の研究の推進方策

今後はやや遅れを取っているプラズマ発光分析と流体力学シミュレーションの定量的比較を進めていく。またレーザー誘起ブレークダウン分光システムの構築を開始したが、現在のところ十分な信号強度が取れるところまでは至っていない。レーザーブレークダウン分光法で有用な結果が得られないことも想定済みで、その際にはナノ結晶化の時間を仮定し、プルーム進展と堆積物の構造解析の結果と無矛盾なモデル を考察することによって結晶化時間の仮定の妥当性を検討する。

次年度使用額が生じた理由

次年度使用額が生じた主な理由はプルーム観察で新たな知見が得られ、その測定に時間をかけたため試料作成が後回しになったためである。したがって試料作成に必要な基板材料、真空部品等の消耗が予想よりも少なかった。

次年度使用額の使用計画

試料作成のための消耗品費と作成された試料の電子顕微鏡依頼測定に充てる。特に電子顕微鏡依頼測定は高額であるが有用な知見がられるために研究の進展のために合理的な利用法である。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Dynamics of colliding laser ablation plumes in background gas2016

    • 著者名/発表者名
      Ikurou Umezu, Yusuke Hashiguchi, Hiroshi Fukuoka, Naomichi Nakamoto, Tamao Aoki, Akira Sugimura
    • 雑誌名

      Appl. Phys. A

      巻: 122 ページ: 485, 1-4

    • DOI

      10.1007/s00339-016-9993-y

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Pulsed laser irradiation-induced microstructures in the Mn ion implanted Si2015

    • 著者名/発表者名
      Naito, Muneyuki; Yamada, Ryo; Machida, Nobuya; Koshiba, Yusuke; Sugimura, Akira; Aoki, Tamao; Umezu, Ikurou
    • 雑誌名

      Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

      巻: 365 ページ: 110-113

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2015.07.073

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ガス中パルスレーザアブレーションで作製されたTiO2ナノ粒子凝集体の階層構造2015

    • 著者名/発表者名
      梅津 郁朗,吉田 岳人
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌)

      巻: 135 ページ: 1055-1059

    • DOI

      10.1541/ieejeiss.135.1055

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Crossover from Efros-Shklovskii variable range hopping to nearest-neighbor hopping in silicon nanocrystal random network2015

    • 著者名/発表者名
      Mitsuru Inada, Hiroshi Yamamoto, Manabu Gibo, Rieko Ueda, Ikurou Umezu, Shukichi Tanaka, Tadashi Saitoh and Akira Sugimura
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 8 ページ: 105001, 1-3

    • DOI

      10.7567/APEX.8.105001

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ダブルレーザーアブレーション法におけるプルーム衝突に対する励起時間の影響2016

    • 著者名/発表者名
      浜岡 克佳、福岡 寛、杉村 陽、梅津 郁朗
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大 大岡山キャンパス(東京都大田区)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] ダブルパルスレーザーアブレーションによるTiO2とNiのプルーム衝突過程2016

    • 著者名/発表者名
      片山 慶太、浜岡 克佳、青木 珠緒、福岡 寛、吉田 岳人、杉村 陽、梅津 郁朗
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大 大岡山キャンパス(東京都大田区)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] パルスレーザーアブレーション過程で生成するナノ結晶とデブリの空間分布2015

    • 著者名/発表者名
      蓬莱 祐貴、福岡 寛、杉村 陽、青木 珠緒、梅津 郁朗
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Tiを過飽和ドープしたSi単結晶の光吸収と光電気伝導の相関2015

    • 著者名/発表者名
      藪 慶太郎、川邊 大介、小柴 悠資、杉村 陽、青木 珠緒、梅津 郁朗
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Dynamics of laser ablated colliding plumes in background gas2015

    • 著者名/発表者名
      I. Umezu, Y. Hashiguchi, H. Fukuoka, N. Sakamoto, T. Aoki, A. Sugimura
    • 学会等名
      The 13th Conference on Laser Ablation (COLA-2015)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 年月日
      2015-08-31 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] TiO2 PLD nanocrystalline films supporting Au nanoparticles for application to visible-light- operating plasmonic photo catalysts2015

    • 著者名/発表者名
      T. watanabe, F. Kikuchi, T. Tabuchi, T. Yoshida, I. Umezu, M. Haraguchi
    • 学会等名
      The 13th Conference on Laser Ablation (COLA-2015)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 年月日
      2015-08-31 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical analysis of flow field during laser ablation process for formation of Si clusters2015

    • 著者名/発表者名
      E. Ueno, N. Fukuda, M. Yaga, I. Umezu, M. Han, T. Takiya
    • 学会等名
      The 13th Conference on Laser Ablation (COLA-2015)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 年月日
      2015-08-31 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] TiO2-based nanostructures for photocatalytic applications synthesized by vapor-phase pulsed laser ablation2015

    • 著者名/発表者名
      Takehito Yoshida and Ikurou Umezu
    • 学会等名
      The EMN Cancun Meeting 2015
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2015-06-08 – 2015-06-11
    • 国際学会 / 招待講演
  • [図書] 電気特性の 測定、評価とデータ解釈 (第2節 金属・半導体の熱伝導特性)2015

    • 著者名/発表者名
      梅津郁朗、青木珠緒
    • 総ページ数
      481(11-20)
    • 出版者
      情報技術協会

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公開日: 2017-01-06  

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