| 研究課題/領域番号 |
15K04665
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 鳥取大学 |
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研究代表者 |
阿部 友紀 鳥取大学, 工学研究科, 准教授 (20294340)
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| 研究分担者 |
市野 邦男 鳥取大学, 工学研究科, 教授 (90263483)
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| 研究協力者 |
笠田 洋文 鳥取大学, 技術部・工学情報系部門, 技術長
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | ZnSe / 紫外アバランシェフォトダイオード / 有機-無機ハイブリッド |
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| 研究成果の概要 |
近年，次世代光ディスク，火炎センサー，医療用PET など紫外線の検出に注目が集まっている．現在，医療用に必要な微弱光の検出には，光電子増倍管が用いられていが，装置が大型で壊れやすく高価になるという問題点がある．この光電子増倍管を全固体素子であるアバランシェ・フォトダイオード（APD）に置き換えることができれば，上記問題が解決されるだけでなく集積化も可能となる．本研究では，有機- 無機ハイブリッド型のZnSe 系紫外光波帯APD を開発し，無機モノリシック光検出器と同程度以下の暗電流に抑えるとともに，窓層のパターン形成のみでエッチングなどの素子間分離をせずにAPD の集積化を実現した．
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| 自由記述の分野 |
半導体工学
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