| 研究課題/領域番号 |
15K04698
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| 研究機関 | 滋賀県立大学 |
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研究代表者 |
山田 逸成 滋賀県立大学, 工学部, 准教授 (40586210)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | ワイヤグリッド偏光子 / ゾル‐ゲル法 / インプリント加工 |
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| 研究実績の概要 |
【研究の目的と27年度の目標】
赤外用ワイヤグリッド偏光子の基板として用いられるフッ化物は難加工性、ゲルマニウム基板は高価であることが問題とされている。さらに、数百nm周期の金属格子を要するため、非常に高価になってしまうことが大きな課題であった。この課題を解決するため、本研究ではプロセスが単純なゾル-ゲル法とインプリント法で基板表面に狭周期構造を形成することにより、赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作を行うことを目的とした。平成27年度は数百nm程度の狭周期のパターニング技術を確立し、直径5mm以上のシリコーン樹脂モールド（型）表面に周期400nm程度の格子構造を形成することを目標とした。
【実験と結果】赤外域で高い偏光特性を得るためには、使用波長よりも充分に短い周期をもつ金属格子構造を形成することが必要である。このような微細周期構造をインプリント加工によって形成する場合、モールドの作製が重要となる。モールド基板は、化学的に安定で、安価、室温でも加工性に優れたシリコーン樹脂を使用した。モールド作製には二光束干渉露光で形成したフォトレジストパターンをモールドとしてシリコーン樹脂に転写した。結果として、直径5mm以上のシリコーン樹脂モールド表面に周期400nm程度の格子構造を形成することができた。また、ゾル-ゲル法によるジルコニア膜の成膜もシリコン基板上に行うことができ、赤外光を透過することも確認できた。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
27年度の計画では、シリコーンモールドの作製を行うことを目標として設定していたが、二光束干渉露光技術を学内で立ち上げることができたこと加え、モールドの作製、ゾル-ゲル法によるジルコニア膜の形成を行うこともでき、予定よりも早く行うことができているため。
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| 今後の研究の推進方策 |
作製したシリコーン樹脂モールドを使用して、ゾル-ゲル系材料（ジルコニア）へのインプリント技術を確立することが28年度の目標である。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
平成28年度に購入を考えていた金属成膜装置を前倒しで平成27年度に購入した。
また、スピンコータの故障、学会発表による旅費（学生も含む）のため、使用額が増大した。
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| 次年度使用額の使用計画 |
今年度は使用額を抑えるために、使用範囲内で、物品購入（主に薬品などの消耗品）および学会発表等による出張を行う予定である。
学内で支給される予算も含め、効果的に、そしてバランス良く使用していく予定である。
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