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CMOS回路の性能を向上させる技術であるSOI(Silicon-on-insulator)技術を用いて、センサと回路が一体になったピクセル検出器を開発した。ピクセル回路には前段増幅回路が含まれている。開発上の問題となっている、センサと回路間のクロストーク低減のために、2重SOIウエハを使用した。2重SOIの上層を回路層とし、下層をシールド層とした。シールド層があることによって、前段増幅回路のゲイン低下を抑制することができた。このセンサではピクセル内２つの電荷保持領域を交互に切り替えて使うことができ、不感時間が短く、連続測定を必要とする応用研究に適用することができる。
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