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2017 年度 研究成果報告書

Si(110)表面の一次元電子状態の研究

研究課題

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研究課題/領域番号 15K05119
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 物性Ⅰ
研究機関東北大学

研究代表者

須藤 彰三  東北大学, 理学研究科, 教授 (40171277)

連携研究者 江口 豊明  東北大学, 大学院理学研究科, 准教授 (70308196)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
キーワードSi(110)表面 / 電子バンド / 水素終端表面 / 角度分解光電子分光法 / 第一原理計算 / 移動度 / 表面フォノン / エッチング過程
研究成果の概要

最近、従来のSi(100)面に加えてSi(110)面が立体型半導体デバイスに利用されるようになってきた。しかし、その基礎物性に関する研究は、ほとんど行われていない。本研究ではバルクSi(110)面の電子状態の解明を目的とし、我々のグループで開発した高品位な水素終端Si(110)-(1×1)表面を用い、高分解能角度分解光電子分光法によるエネルギー分散の測定、密度汎関数法による第一原理計算を行い、実験と理論の両面から電子バンド構造を明らかにした。更に、電子及びホール移動度の評価、表面フォノン分散やエッチング過程の解明等の発展的研究も実施した。

自由記述の分野

物性物理学

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公開日: 2019-03-29  

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