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生産現場では、細長い穴等の形状測定が必要とされているが、現在は穴の端部を軸方向に数mm程度測定するか、これの細穴を割り、破壊検査をするしかない。申請者らはこれまで細管内の粗さを光強度に変換し、管外で電気信号に変えるシステムの研究を行ってきたが、検出範囲が8ミクロンと狭かった。そこで検出範囲を拡げるべく、微小なエンコーダ目盛状の反射鏡を用い粗さの検出を行う実験と、バイモルフタイプのPZTを用いフォトダイオードの出力が一定となるモードで粗さを検出する実験を行った。出力が一定となるモードの実験では検出範囲が約24ミクロンであった。
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