研究課題
基盤研究(C)
本研究では,順・逆電圧印加を併用した固体イオン交換法によってガラス内部に形成される銀結晶の析出メカニズムを明らかにするとともに,析出層のガラス内部微細配線への適用を試みた.析出物の成長プロセスの観察結果から,順電圧印加によってガラス内部に添加された銀イオンが,逆電圧印加によって還元されて析出物を形成することが分かった.また,銀とナトリウムの交互添加や銀ナノインクによる供給源の微細化等の手法により,ガラス内部に多層配線の形成や線幅0.1 mm以下の微細配線の形成が可能となった.
生産工学・加工学