| 研究課題/領域番号 |
15K05713
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
高橋 巧也 東京大学, 生産技術研究所, 技術専門職員 (60451879)
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| 連携研究者 |
年吉 洋 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (50282603)
本原 顕太郎 東京大学, 理学系研究科, 准教授 (90343102)
小西 真弘 東京大学, 理学系研究科, 特任助教 (50532545)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | ナノマイクロ加工 / 赤外線天文学 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、東京大学が南米チリアタカマ高地に建設中の大型赤外線望遠鏡に搭載予定の分光器を、ＭＥＭＳ技術を用いて可変マルチスリット化することを目的とする。本研究ではこれまでに、貼り合わせシリコン基板（ＳＯＩ基板）の両面をマイクロ加工し、幅１００μｍ、長さ１０００μｍ、厚み１．２５μｍの静電駆動シャッタを設計、製作し、大気中および真空中における静電駆動特性を測定した。さらに、シャッタ数３×３のサブユニットを用いて、Ｘ方向、Ｙ方向の電気配線のみで任意の１点のシャッタ開閉動作を制御するパッシブマトリクス方式についての検証を行い、提案している制御方法で目的の動作を実現可能であることが確認できた。
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| 自由記述の分野 |
半導体マイクロマシニング
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