| 研究課題/領域番号 |
15K05715
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
柳田 保子 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (10282849)
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| 研究分担者 |
初澤 毅 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (70272721)
朴 チョンホ 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (80639146)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | マイクロ加工 / フォトニック結晶構造 / バイオ計測 / マイクロシステム |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、バイオチップ上で微弱な蛍光強度を高めることのできるフォトニック結晶構造（PhC）の光学特性評価を目的とした。 PhCは正方形の格子状に円孔配列を配しており、ガラス基板上にSi3N4膜を蒸着し微細加工技術により作製した。また格子定数と円孔直径が異なるナノ周期構造も作製した。波長520nmの光をガラス基板の側面から導入すると、蛍光強度や波長によりPhC結晶面より上方回折することを確認した。
さらに、温度応答性ゲルにナノインプリント法を用いてナノ構造を転写して、温度変化に伴い、フォトニック結晶のナノ周期構造を任意に変化させることで、蛍光測定波長を任意に変化可能な光学デバイスを作製できた。
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| 自由記述の分野 |
マイクロ・ナノシステム
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