重要度が増している研磨技術の高度化を目指して、研磨技術の素過程の検討を行った。本研究では、研磨におけるナノスケール切れ刃の加工についてAFMの触針を用いて検討を行った。触針を代表的な砥粒材料であるダイヤモンド、シリカ、セリア、アルミナ、ジルコニア等で作製し、石英製の光ファイバの端面に対して加工した。光ファイバを用いることによって光学的に加工変質の評価が行える。またAFMの改造によって液中での加工を可能とし、液の化学作用も評価した。また、加工前後の触針磨耗量をFESEMによって評価した。検討の結果この実験は実際の研磨加工をよく反映し、研磨における切れ刃の作用の解析に有用であることがわかった。
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