| 研究課題/領域番号 |
15K05747
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
安井 学 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部, 主任研究員 (80426361)
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| 連携研究者 |
荒井 政大 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (30260532)
伊藤 寛明 近畿大学, 工学部, 講師 (70534981)
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| 研究協力者 |
金子 智 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部電子材料グループ, グループリーダ (40426359)
黒内 正仁 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部電子材料グループ, 主任研究員 (10452187)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | Ni-W金型 / ナノインプリント / ガラス / めっき / アルミ二ウム |
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| 研究成果の概要 |
我々は離型性に優れるNi-Wめっきを用いて、モスアイ構造を形成したNi-W金型を試作した。そして、プラズモン共鳴を利用した受光素子にアルミナノホールが検討されているため、Ni-W金型を用いたアルミナノインプリントを検討した。その結果、室温で純アルミニウム板表面にナノホールを形成できた。必要な圧力は100MPaであった。熱可塑性樹脂を対象とした熱ナノインプリントに比べて、アルミナノインプリントの圧力は10倍以上大きく、圧力を下げることが課題である。
なお、熱ナノインプリントにより反りの大きいNi-W金型は脆化し、割れる可能性が高い。そのため、我々はガラスを対象とした熱ナノインプリントを中止した。
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| 自由記述の分野 |
工学
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