| 研究課題/領域番号 |
15K05749
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 富山県工業技術センター |
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研究代表者 |
鍋澤 浩文 富山県工業技術センター, その他部局等, 副主幹研究員 (50416145)
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| 研究分担者 |
関 実 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (80206622)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | プラズマ加工 / マイクロ・ナノデバイス / フッ素樹脂 / 反応性イオンエッチング / マイクロ流体デバイス |
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| 研究成果の概要 |
耐薬品性に優れたフッ素樹脂製マイクロ流体デバイスを実現するために、反応性イオンエッチング技術を用いたフッ素樹脂の微細加工法の実用研究を行いました。フッ素樹脂の平滑加工面を得るため、酸素プラズマによる表面形態の形成メカニズムを解明しました。さらに、液体クロマトグラフィや微小液滴作製への応用を試みました。この技術は、耐薬品性に優れたマイクロリアクターやマイクロ部品への有望なツールとして期待されます。
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| 自由記述の分野 |
ナノマイクロシステム
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