研究課題
基盤研究(C)
本研究では，工作機械の位置決め駆動要素として一般的に用いられているボールねじ機構による超高分解能の位置決めを，実際の加工負荷外乱下において実現するために，VCMによる負荷装置を備えた位置決め実験装置を用いた実験により，負荷外乱下におけるボールねじ機構の微視的特性と位置決め性能をサブナノメートルレベルで解明した．また，ボールねじ駆動機構による超精密旋削加工系を構成し，実際の加工負荷外乱下におけるボールねじ機構の位置決め性能を実験的に検証した．
精密工学
