本研究では,まず,これまでのAEセンサの研究開発経過(DC~10MHzに渡る高速応答の広帯域型AEセンサの開発やMEMS技術による小型カンチレバーによるデジタル式AEセンサの開発)に触れ,本論では,LiNbO3(ニオブ酸リチウム)材を用いた高性能な開発した音響コム型AEセンサの概要,設計およびそのシミュレーション方法について検討した. つぎに.そのAEセンサのLiNbO3一体型カンチレバーアレイの製作工程について検討し,試作した. 最後に,試作したその音響コム(櫛)型デジタル式デジタルAEセンサの設計計算値と基本特性との比較および,その電気特性など評価方法について検証し,実用化した.
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