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本研究では，長ストロークと高精度，５自由度制御型磁気浮上アクチュエータの構成と駆動原理を検討し，アクチュエータの設計と試作を行った．提案アクチュエータは並進方向に4mmのストローク，1μmの位置決め分解能，101Hz(径方向)と70Hz（軸方向）のバンド幅を実現した．また，傾き方向には,70mradのストローク，25μradの位置決め分解能，40Hz以上のバンド幅を実現した．
次いで，磁気駆動アクチュエータを用いて穴の放電加工を行い，高速ギャップ制御による加工速度向上への有効性を検証した．また，多自由度方向に制御可能なアクチュエータの研磨加工への応用を検討した．
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