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本研究は，超音波加工の高度化・高精度化を目的として，縦振動とねじり振動の複合振動を用いた超音波加工の原理について検討を行ったものである。検討はソーダライムガラスに対して超音波加工を行った際の加工痕，加工時間などの加工特性を求めることで行った。その結果，複合振動による超音波加工は，ねじり振動により砥粒が加工対象を削り取るように作用することによって加工されていることがわかった。これらより，複合振動の場合の砥粒一粒あたりの加工量は，縦振動のみの場合と比較して増加していることがわかった。したがって，加工速度の向上は，大きなねじり振動を用いて，砥粒の加工量を増加させることが効果的であると考えられる。
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