空気圧アクチュエータのピストンを静圧軸受により浮上させることにより、発熱や摩擦のない非接触駆動を可能とする新しいタイプの空気圧サーボアクチュエータを先に実現した。このアクチュエータを用いた単軸ステージでは従来の空気圧の概念を覆す高速・高精度な性能を有する。本研究ではこのアクチュエータを用いてX-Yステージを構成する方法を提案し、配管を内蔵させたコンパンクかつ高精度なステージを設計・実現した。X-Yステージを構成する際には一自由度に比べ配管が長くなり、制御性能が低下する。そこでX-Yステージを駆動するために必要な制御方法を検討した。シミュレーションではあるが、提案した制御法の有効性を確認できた。
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