| 研究課題/領域番号 |
15K06092
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| 研究機関 | 立命館大学 |
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研究代表者 |
古塚 岐 立命館大学, 総合科学技術研究機構, 教授 (90555608)
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| 研究分担者 |
鈴木 健一郎 立命館大学, 理工学部, 教授 (70388122)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | MEMS / アクチュエータ / 八木宇田アンテナ / 静電気力 / 走査角度 / 共振周波数 |
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| 研究実績の概要 |
鋭い指向性を持つ八木・宇田アンテナを機械的に高速かつ広角度に走査することを可能にする、共振現象を利用したMEMSアクチュエータの設計・試作を行った。
設計：櫛歯電極に発生する静電気力によって回転駆動されるMEMSアクチュエータは、ぜんまい型サスペンションを採用することによりリング枠の形状変化を低く抑えて広角度走査ができるように工夫されている。また、このMEMSアクチュエータの上に作製されたアンテナ支持棒は多くの八木・宇田アンテナ導波器をこの上に搭載することができるため、鋭い指向性をもつアンテナを実現することを可能にする。設計したMEMSアクチュエータは1324Hzの共振周波数をもち±40度の広い角度にアンテナビームを走査できるものである。
作製：SOI基板を利用した両面のシリコンエッチング加工によってアクチュエータを作製した。試作したデバイスの評価を行った結果、設計通りの共振周波数をもって駆動していることが確認できた。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
設計および作製を行い、駆動を確認できた。
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| 今後の研究の推進方策 |
試作したMEMSアクチュエータの駆動評価を実施して、MEMSアクチュエータの構造最適化と高速化などに役立てる予定である。また、導波器をアクチュエータに搭載したアンテナの設計、作製、および評価を実施する。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
物品を購入する際に差額が発生して少額の予算が余ったので次年度に使用することにした。
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| 次年度使用額の使用計画 |
平成28年度と合わせて物品費として今年度に使用する。
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